Siliziumkarbid-Waferhalter

Kurzbeschreibung:

Entdecken Sie den SiC-Träger von VET Energy – entwickelt für die hochpräzise Waferbearbeitung in der Halbleiter- und Optoelektronik. Dank überlegener Wärmeleitfähigkeit, gleichmäßiger Porenverteilung und Beständigkeit gegenüber Säuren und Laugen gewährleistet er eine stabile und effiziente Unterstützung beim Wachsen, Ausdünnen und Vereinzeln der Wafer. Kundenspezifische Abmessungen, schnelle Lieferzeiten und zuverlässige Qualität machen VET zum bevorzugten Partner für moderne Waferbearbeitungslinien.

 

 

 

 

 


  • Produktname:SiC-Träger
  • Material:Siliziumkarbid in Halbleiterqualität
  • Beschichtung:CVD-SiC-Beschichtung
  • Probe:Verfügbar
  • Vorteile:Höchste Qualität, schnellere Lieferung.
  • Produktdetails

    Produkt-Tags

    In der Halbleiter- und optoelektronischen Industrie,SiC (Siliciumcarbid)-Trägerspielt eine entscheidende Rolle bei der Verarbeitung ultradünner Wafer. Der Wafer wird auf den porösen SiC-Träger gelegt und mittels Vakuumansaugung sicher fixiert, was eine nahtlose Integration in wichtige Prozessschritte wie die folgenden ermöglicht:

    ● Wachsen: Auftragen einer Schutzschicht.
    ● Ausdünnen: Verringerung der Dicke des Wafers.
    ● Entwachsen: Entfernen der Schutzschicht.
    ● Reinigung: Gewährleistung einer makellosen Oberfläche.
    ● Schneiden (Zerkleinern): Aufteilen des Wafers in einzelne Chips.

    SiC-Träger vereinfachen diese komplexen Arbeitsschritte und tragen so wesentlich zur Effizienz und Qualität Ihrer Produktionslinie bei.

     

    Wichtige Merkmale, die Ihr SiC-Carrier besitzen muss

     

    Bei der Auswahl eines SiC-Trägers sind bestimmte Merkmale entscheidend für optimale Leistung und maximale Rentabilität. Wir wissen, dass technisches Personal und Einkaufsleiter Wert auf spezifische Eigenschaften legen, die sich direkt auf Prozesseffizienz und Produktqualität auswirken.

     

    1. Außergewöhnliche Wärmeleitfähigkeit
    Ein hochwertiger SiC-Träger zeichnet sich durch eine ausgezeichnete Wärmeleitfähigkeit aus. Diese Eigenschaft ist entscheidend für:

    ●Verkürzung der Wachs- und Entwachsungszeiten: Durch effizienten Wärmetransfer werden diese thermischen Prozesse beschleunigt, wodurch die Gesamtzykluszeiten drastisch reduziert werden.
    ●Verbesserung der Produktionsrate: Eine schnellere Verarbeitung führt direkt zu einem höheren Wafer-Durchsatz.
    ● Steigerung der Produktionseffizienz: Ein optimiertes Wärmemanagement trägt zu einem effizienteren und produktiveren Fertigungsablauf bei.

    2. Kleine und gleichmäßig verteilte Porengröße:
    Die Effektivität der Vakuumansaugung hängt maßgeblich von der Porenstruktur des Trägermaterials ab. Ein idealer SiC-Träger zeichnet sich durch folgende Merkmale aus:

    ●Kleine Porengröße: Verhindert Beschädigungen an empfindlichen Wafern und gewährleistet eine gleichmäßige Vakuumverteilung.
    ●Gleichmäßig verteilte Poren: Gewährleistet eine gleichmäßige Adsorption in jedem einzelnen Bereich des gesamten Wafers und verhindert so Verformungen, Verbiegungen oder Verschiebungen während der Verarbeitung.

    3. Hervorragende Säure- und Laugenbeständigkeit:

    Aufgrund der chemikalienintensiven Natur der Waferbearbeitung muss Ihr SiC-Träger korrosiven Umgebungen standhalten. Eine hohe Säure- und Laugenbeständigkeit gewährleistet:

    ●Haltbarkeit und Langlebigkeit: Der Träger behält seine strukturelle Integrität und Leistungsfähigkeit über einen längeren Zeitraum bei.
    ●Verringertes Kontaminationsrisiko: Die Beständigkeit gegen chemische Zersetzung minimiert das Risiko, dass Verunreinigungen auf den Wafer gelangen.

    Warum sollten Sie sich für VET Energy als Ihren SiC-Träger entscheiden?

     

    Wir bei VET Energy haben uns der Bereitstellung von SiC-Trägern verschrieben, die die strengen Anforderungen der Halbleiter- und Optoelektronikindustrie nicht nur erfüllen, sondern übertreffen. Unser Fokus auf Qualität, kundenspezifische Lösungen und zuverlässige Lieferung zeichnet uns aus.

    Verschiedene Größen und SpezifikationenUnsere SiC-Träger können individuell an Ihre spezifischen Waferabmessungen und Geräteanforderungen angepasst werden.

    Glatte OberflächenbeschaffenheitSorgfältig poliert, um Kratzer oder Beschädigungen an den empfindlichen Waffeln zu vermeiden und Ihre wertvollen Produkte zu schützen.

    Schnelle LieferungWir sind stolz auf unsere effiziente Produktion und Logistik, die dafür sorgen, dass Ihre Bestellungen zeitnah geliefert werden, damit Ihre Betriebsabläufe reibungslos verlaufen.

    CVD SiC

    Grundlegende physikalische Eigenschaften von CVD-SiCBeschichtung

    Eigentum

    Typischer Wert

    Kristallstruktur

    FCC β-Phase polykristallin, hauptsächlich (111)-Orientierung

    Dichte

    3,21 g/cm³

    Härte

    2500 Vickers-Härte (500 g Last)

    Körnung

    2–10 μm

    Chemische Reinheit

    99,99995 %

    Wärmekapazität

    640 J·kg-1·K-1

    Sublimationstemperatur

    2700℃

    Biegefestigkeit

    415 MPa RT 4-Punkt

    Elastizitätsmodul

    430 GPA 4pt Biegung, 1300℃

    Wärmeleitfähigkeit

    300 W·m-1·K-1

    Wärmeausdehnung (CTE)

    4,5×10-6K-1

    VET Energy ist ein professioneller Hersteller, der sich auf die Forschung und Entwicklung sowie die Produktion von hochwertigen, fortschrittlichen Materialien wie Graphit, Siliciumcarbid und Quarz sowie auf Materialbehandlungen wie SiC-Beschichtung, TaC-Beschichtung, Glaskohlenstoffbeschichtung, pyrolytische Kohlenstoffbeschichtung usw. spezialisiert hat. Die Produkte finden breite Anwendung in der Photovoltaik, der Halbleiterindustrie, der neuen Energiewirtschaft, der Metallurgie usw.

    Unser technisches Team stammt von führenden inländischen Forschungseinrichtungen und kann Ihnen daher professionellere Materiallösungen anbieten.

    Zu den Vorteilen von VET Energy gehören:
    • Eigene Fabrik und professionelles Labor;
    • Branchenführende Reinheit und Qualität;
    • Wettbewerbsfähiger Preis & Schnelle Lieferzeit;
    • Zahlreiche Branchenpartnerschaften weltweit;

     

    Wir freuen uns, Sie jederzeit in unserer Fabrik und unserem Labor begrüßen zu dürfen!

    公司客户

     


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