SiC-Waferboot und -halter für Vertikalofen
Siliziumkarbid-Wafer-BootDient primär der Unterstützung und dem Transport der Wafer bei Hochtemperatur-Wärmeprozessen von Halbleiterwafern wie Diffusion, Oxidation und Temperung. Ihre Leistungsfähigkeit beeinflusst direkt die Produktqualität der Wafer und die Produktionseffizienz.
Die strukturellen Ausführungen von Siliziumkarbid-Waferbooten:
Besitzt typischerweise eine geschlitzte oder kammartige Struktur;
Mehrere Schlitze zum Einlegen und Trennen der Wafer;
Entwickelt, um die Gasstromverteilung zu berücksichtigen und so eine gleichmäßige Erwärmung und Kühlung zu gewährleisten;
Geeignet für Vertikal- und Horizontalöfen;
Konzipiert für verschiedene Größen wie z. B. 3 Zoll, 4 Zoll, 6 Zoll, 8 Zoll, 12 Zoll große Waffeln.
Die Siliziumkarbid-Waferboote von VET Energy werden mithilfe fortschrittlicher Sintertechnologie hergestellt und sind speziell auf die hohen Anforderungen an Prozessträger in der modernen Halbleiterfertigung zugeschnitten. Ihre überlegenen technischen Vorteile zeigen sich vor allem in folgenden Aspekten:
1. Höchste Reinheit und extrem geringe Verunreinigung
Durch die Verwendung hochreiner Rohstoffe gewährleisten wir einen extrem niedrigen Metallionengehalt (weniger als 1 ppm für Na, K, Fe und Ca). Minimale Ausfällungen bei hohen Temperaturen verhindern effektiv die Kontamination der Wafer und sichern so eine hohe Chipausbeute und Zuverlässigkeit. Damit sind unsere Produkte die ideale Wahl für alle, die höchste Prozessqualität anstreben.
2. Hervorragende Wärmeleistung und Stabilität
Unsere SiC-Wafer-Boote zeichnen sich durch eine extrem hohe Wärmeleitfähigkeit und hervorragende Temperaturwechselbeständigkeit aus. Sie widerstehen schnellen Temperaturschwankungen von Raumtemperatur bis 1600 °C ohne Risse oder Verformungen und gewährleisten so Prozesswiederholbarkeit und -konsistenz. Dadurch werden ungeplante Ausfallzeiten aufgrund von Trägerproblemen deutlich reduziert.
3. Außergewöhnliche Korrosionsbeständigkeit und mechanische Festigkeit
Seine hohe Härte und starke Verschleißfestigkeit sowie seine außergewöhnliche Beständigkeit gegenüber sauren und alkalischen Umgebungen übertreffen Quarz und Graphit bei Weitem. Seine außergewöhnliche mechanische Festigkeit verhindert wirksam die Partikelbildung bei häufiger automatisierter Handhabung, verlängert die Lebensdauer erheblich und senkt die Gesamtbetriebskosten.
4. Präzises Design und hervorragende Konsistenz
Durch den Einsatz fortschrittlicher Formgebungs- und Verarbeitungstechnologien stellen wir sicher, dass jedes Wafer-Schiffchen präzise geometrische Abmessungen und eine hervorragende Oberflächengenauigkeit aufweist, wodurch ein gleichmäßiger Waferabstand und ein stabiler Luftstrom gewährleistet werden.
| 重结晶碳化硅物理特性 Physikalische Eigenschaften von rekristallisiertem Siliciumcarbid | |
| 性质 / Eigentum | 典型数值 / Typischer Wert |
| 使用温度/ Betriebstemperatur (°C) | 1600 °C (mit Sauerstoff), 1700 °C (reduzierendes Milieu) |
| SiC含量/ SiC-Gehalt | > 99,96 % |
| 自由Si含量/ Kostenloser Si-Inhalt | < 0,1 % |
| 体积密度/Schüttdichte | 2,60–2,70 g/cm²3 |
| 气孔率/ Scheinbare Porosität | < 16 % |
| 抗压强度/ Druckfestigkeit | > 600MPa |
| 常温抗弯强度/Kaltbiegefestigkeit | 80-90 MPa (20°C) |
| 高温抗弯强度Warmbiegefestigkeit | 90-100 MPa (1400 °C) |
| 热膨胀系数/ Wärmeausdehnung bei 1500°C | 4,70 10-6/°C |
| 导热系数/Wärmeleitfähigkeit bei 1200 °C | 23W/m•K |
| 杨氏模量Elastizitätsmodul | 240 GPa |
| 抗热震性/ Beständigkeit gegen Temperaturschocks | Äußerst gut |
VET Energy ist ein professioneller Hersteller, der sich auf die Forschung und Entwicklung sowie die Produktion von hochwertigen, fortschrittlichen Materialien wie Graphit, Siliciumcarbid und Quarz sowie auf Materialbehandlungen wie SiC-Beschichtung, TaC-Beschichtung, Glaskohlenstoffbeschichtung, pyrolytische Kohlenstoffbeschichtung usw. spezialisiert hat. Die Produkte finden breite Anwendung in der Photovoltaik, der Halbleiterindustrie, der neuen Energiewirtschaft, der Metallurgie usw.
Unser technisches Team stammt von führenden inländischen Forschungseinrichtungen und kann Ihnen daher professionellere Materiallösungen anbieten.
Zu den Vorteilen von VET Energy gehören:
• Eigene Fabrik und professionelles Labor;
• Branchenführende Reinheit und Qualität;
• Wettbewerbsfähiger Preis & Schnelle Lieferzeit;
• Zahlreiche Branchenpartnerschaften weltweit;
Wir freuen uns, Sie jederzeit in unserer Fabrik und unserem Labor begrüßen zu dürfen!
