SiC-beschichteter Graphit-Zahnring

Abbildung eines mit SiC beschichteten Graphit-Zahnkranzes

Kurzbeschreibung:

Der SiC-beschichtete Graphit-Zahnkranz von VET Energy ist ein Hochleistungsprodukt, das für eine gleichbleibende und zuverlässige Leistung über einen langen Zeitraum entwickelt wurde. Er zeichnet sich durch hervorragende Hitzebeständigkeit und thermische Gleichmäßigkeit, hohe Reinheit und Erosionsbeständigkeit aus und ist somit die ideale Lösung für Anwendungen in der Waferbearbeitung.

Herkunftsort:China

Kristallstruktur:FCCβ-Phase

Dichte :3,21 g/cm;

Härte:2500 Vickers;

Chemische Reinheit:99,99995 %;

Wärmekapazität:640 J·kg-1·K-1;

Sublimationstemperatur:2700℃;

Körnung:2–10 μm;

Felexurale Stärke:415 MPa (RT 4-Punkt);

Elastizitätsmodul:430 Gpa (4pt Biegung, 1300℃);

Wärmeausdehnung (CTE):4,5 10-6K-1;

Wärmeleitfähigkeit:300 (W/MK);

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Produktdetails

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SiC-beschichtete Graphit-Zahnringe sind eine Schlüsselkomponente in verschiedenen Halbleiterfertigungsprozessen. Mithilfe unserer patentierten Technologie stellen wir den Siliziumkarbid-Träger mit extrem hoher Reinheit, guter Beschichtungsgleichmäßigkeit und ausgezeichneter Lebensdauer sowie hoher chemischer Beständigkeit und thermischer Stabilität her.

VET Energy ist der eigentliche Hersteller von kundenspezifischen Graphit- und Siliciumcarbidprodukten mit Oberflächenbehandlungen wie SiC-Beschichtung, TaC-Beschichtung, Glaskohlenstoffbeschichtung, pyrolytischer Kohlenstoffbeschichtung usw. und kann verschiedene kundenspezifische Teile für die Halbleiter- und Photovoltaikindustrie liefern.

Unser technisches Team stammt von führenden inländischen Forschungseinrichtungen und kann Ihnen daher professionellere Materiallösungen anbieten.

Wir entwickeln kontinuierlich fortschrittliche Verfahren, um fortschrittlichere Materialien bereitzustellen, und haben eine exklusive patentierte Technologie entwickelt, die eine festere Verbindung zwischen Beschichtung und Substrat ermöglicht und die Ablösung verringert.

Merkmale unserer Produkte:

1. Hohe Oxidationsbeständigkeit bis zu 1700℃.
2. Hohe Reinheit und thermische Gleichmäßigkeit
3. Ausgezeichnete Korrosionsbeständigkeit: gegenüber Säuren, Laugen, Salzen und organischen Reagenzien.
4. Hohe Härte, kompakte Oberfläche, feine Partikel.
5. Längere Lebensdauer und höhere Widerstandsfähigkeit

CVD SiC薄膜基本物理性能 Grundlegende physikalische Eigenschaften von CVD-SiCBeschichtung
性质 / Eigentum	典型数值 / Typischer Wert
晶体结构 / Kristallstruktur	FCC β-Phase多晶, 主要为（111）取向
密度 / Dichte	3,21 g/cm³
硬度 / Härte	2500 U/min (500 g Ladung)
晶粒大小 / Korngröße	2–10 μm
纯度 Chemische Reinheit	99,99995 %
热容 / Wärmekapazität	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimationstemperatur	2700℃
抗弯强度 / Biegefestigkeit	415 MPa RT 4-Punkt
杨氏模量 / Elastizitätsmodul	430 GPA 4pt Biegung, 1300℃
导热系数 / ThermelLeitfähigkeit	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Wärmeausdehnung (CTE)	4,5×10^-6K^-1