Die VET Energy PECVD-Beladungsschale ist ein Präzisionsträger für das PECVD-Verfahren (plasmaverstärkte chemische Gasphasenabscheidung). Diese hochwertige Graphitschale besteht aus hochreinem, hochdichtem Graphit. Sie zeichnet sich durch hervorragende Temperaturbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit und Dimensionsstabilität aus. Sie bietet eine stabile Trägerplattform für den PECVD-Prozess und gewährleistet die Gleichmäßigkeit und Ebenheit der Schichtabscheidung.
Die PECVD-Ladeschienen von VET Energy finden breite Anwendung in der Halbleiter-, Photovoltaik-, LED- und anderen Bereichen. Zum Beispiel:
▪ Halbleiter: PECVD-Verfahren für Halbleitermaterialien wie Siliziumwafer und Epitaxiewafer.
▪ Photovoltaik: PECVD-Verfahren für Dünnschichten von Solarzellen.
▪ LED: PECVD-Verfahren für LED-Chips.
Produktvorteile
▪Filmqualität verbessern:Gewährleisten Sie eine gleichmäßige Filmbeschichtung und verbessern Sie die Filmqualität.
▪Lebensdauer der Geräte verlängern:Ausgezeichnete Korrosionsbeständigkeit, verlängert die Lebensdauer von PECVD-Anlagen.
▪Produktionskosten senken:Hochwertige Graphitschalen können die Ausschussquote senken und die Produktionskosten reduzieren.
Graphitmaterial von SGL:
| Typischer Parameter: R6510 | |||
| Index | Prüfstandard | Wert | Einheit |
| Durchschnittliche Korngröße | ISO 13320 | 10 | μm |
| Schüttdichte | DIN IEC 60413/204 | 1,83 | g/cm3 |
| Offene Porosität | DIN66133 | 10 | % |
| Mittlere Porengröße | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Permeabilität | DIN 51935 | 0,06 | cm²/s |
| Rockwell-Härte HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Spezifischer elektrischer Widerstand | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Biegefestigkeit | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Druckfestigkeit | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Elastizitätsmodul | DIN 51915 | 11,5 × 10³ | MPa |
| Wärmeausdehnung (20-200℃) | DIN 51909 | 4,2 x 10-6 | K-1 |
| Wärmeleitfähigkeit (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Es wurde speziell für die Herstellung hocheffizienter Solarzellen entwickelt und unterstützt die Verarbeitung großformatiger G12-Wafer. Das optimierte Trägerdesign steigert den Durchsatz deutlich und ermöglicht so höhere Ausbeuten und niedrigere Produktionskosten.
| Artikel | Typ | Nummer Waferträger |
| PEVCD Grephite Boot - Die 156er Serie | 156-13 Grephitenboot | 144 |
| 156-19 Grephitenboot | 216 | |
| 156-21 Grephitenboot | 240 | |
| 156-23 Graphitboot | 308 | |
| PEVCD Grephite Boot - Die 125er Serie | 125-15 Grephite Boot | 196 |
| 125-19 Grephitenboot | 252 | |
| 125-21 Graphitboot | 280 |
