PECVD-Ladetablett mit Graphitabscheidungstablett

PECVD-Ladetablett zur Abscheidung von Graphittablett. Bild im Bild

Kurzbeschreibung:

Das PECVD-Ladetablett von VET Energy wurde entwickelt, um den Wafern während der Abscheidung eine sichere und gleichmäßige Unterstützung zu bieten und so die Konsistenz und Qualität des Abscheidungsprozesses zu verbessern. Mit seiner hervorragenden Hitzebeständigkeit trägt die Graphitschale dazu bei, eine kontrollierte Umgebung in den PECVD-Kammern aufrechtzuerhalten, wodurch das Kontaminationsrisiko verringert und eine hohe Prozesseffizienz gewährleistet wird.

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Produktdetails

Produkt-Tags

Das PECVD-Ladetablett von VET Energy ist ein Präzisionsträger, der für den PECVD-Prozess (Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition) entwickelt wurde. Diese hochwertige Abscheidungsgraphitschale besteht aus hochreinem Graphitmaterial mit hoher Dichte. Es verfügt über eine ausgezeichnete Hochtemperaturbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit, Dimensionsstabilität und andere Eigenschaften. Es kann eine stabile Trägerplattform für den PECVD-Prozess bieten und die Gleichmäßigkeit und Ebenheit der Filmabscheidung gewährleisten.

PECVD-Ladewannen von VET Energy werden häufig in der Halbleiter-, Photovoltaik-, LED- und anderen Bereichen eingesetzt. Zum Beispiel:

▪ Halbleiter: PECVD-Verfahren für Halbleitermaterialien wie Siliziumwafer und Epitaxiewafer.

▪ Photovoltaik: PECVD-Verfahren für Solarzellen-Dünnschichten.

▪ LED: PECVD-Verfahren für LED-Chips.

Produktvorteile

▪Filmqualität verbessern:Sorgen Sie für eine gleichmäßige Filmabscheidung und verbessern Sie die Filmqualität.

▪Verlängern Sie die Lebensdauer Ihrer Ausrüstung:Hervorragende Korrosionsbeständigkeit, verlängert die Lebensdauer von PECVD-Geräten.

▪Produktionskosten senken:Hochwertige Graphitwannen können die Ausschussrate reduzieren und die Produktionskosten senken.

Graphitmaterial von SGL:

Typischer Parameter: R6510
Index	Prüfstandard	Wert	Einheit
Durchschnittliche Korngröße	ISO 13320	10	μm
Schüttdichte	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Offene Porosität	DIN66133	10	%
Mittlere Porengröße	DIN66133	1.8	μm
Permeabilität	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rockwell-Härte HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Spezifischer elektrischer Widerstand	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Biegefestigkeit	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Druckfestigkeit	DIN 51910	130	MPa
Elastizitätsmodul	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Wärmeausdehnung (20-200℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Wärmeleitfähigkeit (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Es wurde speziell für die hocheffiziente Herstellung von Solarzellen entwickelt und unterstützt die Verarbeitung großer G12-Wafer. Das optimierte Trägerdesign erhöht den Durchsatz erheblich und ermöglicht höhere Ausbeuten und niedrigere Produktionskosten.

Artikel	Typ	Nummernwaferträger
PEVCD-Grephite-Boot – Die 156er-Serie	156-13 Grephitboot	144
	156-19 Grephitboot	216
	156-21 Grephitboot	240
	156-23 Graphitboot	308
PEVCD-Grephite-Boot – Die 125er-Serie	125-15 Grephiteboot	196
	125-19 Grephiteboot	252
	125-21 Graphitboot	280