Siliziumkarbid (SiC) ist eine Art Keramikmaterial mit breitem Anwendungspotenzial, das sich durch hervorragende Wärmeleitfähigkeit, chemische Stabilität und hohe Temperaturbeständigkeit auszeichnet. Um die Leistung und den Anwendungsbereich von Siliziumkarbid weiter zu verbessern, wird die chemische Gasphasenabscheidung (CVD) ...
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