Die Kerntechnologie für das Wachstum epitaktischer SiC-Materialien ist zunächst die Defektkontrolltechnologie, insbesondere die Defektkontrolltechnologie, die anfällig für Geräteausfälle oder eine Verschlechterung der Zuverlässigkeit ist. Die Untersuchung des Mechanismus von Substratdefekten, die sich bis in die epi...
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