Das Graphit-Wafer-Boot von VET Energy ist ein hochwertiges Verbrauchsmaterial, das auf Abscheidungsprozesse in der Halbleiter-, Photovoltaik- und anderen Industrien zugeschnitten ist. Dieses aus hochreinem Graphitmaterial mit hoher Dichte hergestellte Produkt verfügt über eine hervorragende Hochtemperaturbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit, Dimensionsstabilität und andere Eigenschaften und kann eine stabile Trägerplattform für den Abscheidungsprozess bieten, um die Gleichmäßigkeit und Ebenheit der Dünnschichtabscheidung sicherzustellen .
Das PECVD-Graphitboot von VET Energy wird aus hochreinem isostatischem Graphit mit einer Porosität unter 15 % und einer Oberflächenrauheit Ra≤1,6 μm hergestellt. Die überlegene Dimensionsstabilität und Wärmeleitfähigkeit sorgen für eine gleichmäßige Filmabscheidung und eine verbesserte Zelleffizienz.
Graphitmaterial von SGL:
| Typischer Parameter: R6510 | |||
| Index | Prüfstandard | Wert | Einheit |
| Durchschnittliche Korngröße | ISO 13320 | 10 | μm |
| Schüttdichte | DIN IEC 60413/204 | 1,83 | g/cm3 |
| Offene Porosität | DIN66133 | 10 | % |
| Mittlere Porengröße | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Permeabilität | DIN 51935 | 0,06 | cm²/s |
| Rockwell-Härte HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Spezifischer elektrischer Widerstand | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Biegefestigkeit | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Druckfestigkeit | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Elastizitätsmodul | DIN 51915 | 11,5×10³ | MPa |
| Wärmeausdehnung (20-200℃) | DIN 51909 | 4,2X10-6 | K-1 |
| Wärmeleitfähigkeit (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Es wurde speziell für die hocheffiziente Herstellung von Solarzellen entwickelt und unterstützt die Verarbeitung großer G12-Wafer. Das optimierte Trägerdesign erhöht den Durchsatz erheblich und ermöglicht höhere Ausbeuten und niedrigere Produktionskosten.
| Artikel | Typ | Nummernwaferträger |
| PEVCD-Grephite-Boot – Die 156er-Serie | 156-13 Grephitboot | 144 |
| 156-19 Grephitboot | 216 | |
| 156-21 Grephitboot | 240 | |
| 156-23 Graphitboot | 308 | |
| PEVCD-Grephite-Boot – Die 125er-Serie | 125-15 Grephiteboot | 196 |
| 125-19 Grephiteboot | 252 | |
| 125-21 Graphitboot | 280 |
