Graphit-Wafer-Boot für die Beschichtung

Graphitwaferboot für die Abscheidung – Abbildung

Kurzbeschreibung:

Die Graphit-Wafer-Schiffe von VET Energy sind hochwertige Verbrauchsmaterialien, die speziell für Abscheidungsprozesse in der Halbleiter-, Photovoltaik- und anderen Industrien entwickelt wurden. Hergestellt aus hochreinem, hochdichtem Graphit, zeichnet sich dieses Produkt durch hervorragende Hochtemperaturbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit und Dimensionsstabilität aus und bietet eine stabile Trägerplattform für den Abscheidungsprozess, um die Gleichmäßigkeit und Ebenheit der Dünnschichtabscheidung zu gewährleisten.

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Produktdetails

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Die PECVD-Graphitboote von VET Energy werden aus hochreinem isostatischem Graphit hergestellt und weisen eine Porosität unter 15 % sowie eine Oberflächenrauheit Ra ≤ 1,6 μm auf. Die hervorragende Dimensionsstabilität und Wärmeleitfähigkeit gewährleisten eine gleichmäßige Filmbeschichtung und einen verbesserten Zellwirkungsgrad.

Graphitmaterial von SGL:

Typischer Parameter: R6510
Index	Prüfstandard	Wert	Einheit
Durchschnittliche Korngröße	ISO 13320	10	μm
Schüttdichte	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Offene Porosität	DIN66133	10	%
Mittlere Porengröße	DIN66133	1.8	μm
Permeabilität	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rockwell-Härte HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Spezifischer elektrischer Widerstand	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Biegefestigkeit	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Druckfestigkeit	DIN 51910	130	MPa
Elastizitätsmodul	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Wärmeausdehnung (20-200℃)	DIN 51909	4,2 x 10^-6	K^-1
Wärmeleitfähigkeit (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Es wurde speziell für die Herstellung hocheffizienter Solarzellen entwickelt und unterstützt die Verarbeitung großformatiger G12-Wafer. Das optimierte Trägerdesign steigert den Durchsatz deutlich und ermöglicht so höhere Ausbeuten und niedrigere Produktionskosten.

Artikel	Typ	Nummer Waferträger
PEVCD Grephite Boot - Die 156er Serie	156-13 Grephitenboot	144
	156-19 Grephitenboot	216
	156-21 Grephitenboot	240
	156-23 Graphitboot	308
PEVCD Grephite Boot - Die 125er Serie	125-15 Grephite Boot	196
	125-19 Grephitenboot	252
	125-21 Graphitboot	280