Graphitträger für den PECVD-Prozess

Graphitträger für das PECVD-Verfahren (Abbildung)

Kurzbeschreibung:

VET EnergyDas PECVD-Graphitboot für Solarmodule ist eine hochentwickelte Komponente, die speziell für die Herstellung von Hochleistungs-Solarmodulen entwickelt wurde. In PECVD-Verfahren (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) eingesetzt, gewährleistet dieses Graphitboot eine optimale Materialhandhabung und gleichmäßige Abscheidung von Dünnschichten auf Solarzellen. Es ist auf Präzision und Langlebigkeit ausgelegt und bietet eine hervorragende Wärmeleitfähigkeit, hohe Korrosionsbeständigkeit und minimale Kontamination – allesamt essenzielle Faktoren für die Produktion effizienter und qualitativ hochwertiger Solarmodule.

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Produktdetails

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VET EnergyDer Graphitträger für das PECVD-Verfahren (plasmaverstärkte chemische Gasphasenabscheidung) ist ein hochwertiges Verbrauchsmaterial. Er besteht aus hochreinem, hochdichtem Graphit und zeichnet sich durch hervorragende Hochtemperaturbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit und Dimensionsstabilität aus. Dadurch bietet er eine stabile Trägerplattform für das PECVD-Verfahren und gewährleistet die Gleichmäßigkeit und Ebenheit der Dünnschichtabscheidung.

Graphitträger für das PECVD-Verfahren weisen folgende Eigenschaften auf:

▪ Hohe Reinheit: extrem niedriger Verunreinigungsgehalt, wodurch eine Kontamination des Films vermieden und die Filmqualität sichergestellt wird.

▪ Hohe Dichte: hohe Dichte, hohe mechanische Festigkeit, beständig gegen hohe Temperaturen und hohen Druck in der PECVD-Umgebung.

▪ Gute Dimensionsstabilität: geringe Dimensionsänderung bei hohen Temperaturen, wodurch die Prozessstabilität gewährleistet wird.

▪ Ausgezeichnete Wärmeleitfähigkeit: Wärme wird effektiv abgeleitet, um eine Überhitzung des Wafers zu verhindern.

▪ Hohe Korrosionsbeständigkeit: Widersteht der Erosion durch verschiedene korrosive Gase und Plasmen.

▪ Kundenspezifischer Service: Graphitträger in verschiedenen Größen und Formen können nach Kundenwunsch individuell angefertigt werden.

Graphitmaterial von SGL:

Typischer Parameter: R6510
Index	Prüfstandard	Wert	Einheit
Durchschnittliche Korngröße	ISO 13320	10	μm
Schüttdichte	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Offene Porosität	DIN66133	10	%
Mittlere Porengröße	DIN66133	1.8	μm
Permeabilität	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rockwell-Härte HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Spezifischer elektrischer Widerstand	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Biegefestigkeit	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Druckfestigkeit	DIN 51910	130	MPa
Elastizitätsmodul	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Wärmeausdehnung (20-200℃)	DIN 51909	4,2 x 10^-6	K^-1
Wärmeleitfähigkeit (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Es wurde speziell für die Herstellung hocheffizienter Solarzellen entwickelt und unterstützt die Verarbeitung großformatiger G12-Wafer. Das optimierte Trägerdesign steigert den Durchsatz deutlich und ermöglicht so höhere Ausbeuten und niedrigere Produktionskosten.

Artikel	Typ	Nummer Waferträger
PEVCD Grephite Boot - Die 156er Serie	156-13 Grephitenboot	144
	156-19 Grephitenboot	216
	156-21 Grephitenboot	240
	156-23 Graphitboot	308
PEVCD Grephite Boot - Die 125er Serie	125-15 Grephite Boot	196
	125-19 Grephitenboot	252
	125-21 Graphitboot	280