VET EnergyDas Graphitschiffchen für PECVD-Solarzellen ist ein zentrales Verbrauchsmaterial für das PECVD-Verfahren (plasmaverstärkte chemische Gasphasenabscheidung). Es besteht aus hochreinem, isostatischem Graphit mit einer Porosität von unter 15 % und einer Oberflächenrauheit von Ra ≤ 1,6 μm. Es zeichnet sich durch hervorragende Eigenschaften wie hohe Temperaturbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit und Dimensionsstabilität aus. Die hohe Dimensionsstabilität und Wärmeleitfähigkeit gewährleisten eine gleichmäßige Schichtabscheidung und verbessern den Wirkungsgrad der Solarzellen. In der Hochtemperatur- und Hochdruckumgebung des PECVD-Verfahrens dient es als stabiler Träger und sichert so eine gleichmäßige Abscheidung und hohe Qualität der Solarzellenschichten.
Graphitmaterial von SGL:
| Typischer Parameter: R6510 | |||
| Index | Prüfstandard | Wert | Einheit |
| Durchschnittliche Korngröße | ISO 13320 | 10 | μm |
| Schüttdichte | DIN IEC 60413/204 | 1,83 | g/cm3 |
| Offene Porosität | DIN66133 | 10 | % |
| Mittlere Porengröße | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Permeabilität | DIN 51935 | 0,06 | cm²/s |
| Rockwell-Härte HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Spezifischer elektrischer Widerstand | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Biegefestigkeit | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Druckfestigkeit | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Elastizitätsmodul | DIN 51915 | 11,5 × 10³ | MPa |
| Wärmeausdehnung (20-200℃) | DIN 51909 | 4,2 x 10-6 | K-1 |
| Wärmeleitfähigkeit (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Es wurde speziell für die Herstellung hocheffizienter Solarzellen entwickelt und unterstützt die Verarbeitung großformatiger G12-Wafer. Das optimierte Trägerdesign steigert den Durchsatz deutlich und ermöglicht so höhere Ausbeuten und niedrigere Produktionskosten.
| Artikel | Typ | Nummer Waferträger |
| PEVCD Grephite Boot - Die 156er Serie | 156-13 Grephitenboot | 144 |
| 156-19 Grephitenboot | 216 | |
| 156-21 Grephitenboot | 240 | |
| 156-23 Graphitboot | 308 | |
| PEVCD Grephite Boot - Die 125er Serie | 125-15 Grephite Boot | 196 |
| 125-19 Grephitenboot | 252 | |
| 125-21 Graphitboot | 280 |
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