BerufsbildungsenergieDas PECVD-Graphitboot für Solarzellen ist ein Kernverbrauchsmaterial, das für den PECVD-Prozess (Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition) von Solarzellen entwickelt wurde. Das Graphitschiffchen besteht aus hochreinem isostatischem Graphit mit einer Porosität von weniger als 15 % und einer Oberflächenrauheit von Ra≤1,6μm. Es verfügt über hervorragende Eigenschaften wie hohe Temperaturbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit und Dimensionsstabilität. Hervorragende Dimensionsstabilität und Wärmeleitfähigkeit sorgen für eine gleichmäßige Filmabscheidung und verbessern die Batterieeffizienz. Es kann einen stabilen Träger in einer PECVD-Umgebung mit hoher Temperatur und hohem Druck bereitstellen, um eine gleichmäßige Abscheidung und hohe Qualität der Solarzellenfilme sicherzustellen.
Graphitmaterial von SGL:
Typischer Parameter: R6510 | |||
Index | Prüfstandard | Wert | Einheit |
Durchschnittliche Korngröße | ISO 13320 | 10 | μm |
Schüttdichte | DIN IEC 60413/204 | 1,83 | g/cm3 |
Offene Porosität | DIN66133 | 10 | % |
Mittlere Porengröße | DIN66133 | 1.8 | μm |
Permeabilität | DIN 51935 | 0,06 | cm²/s |
Rockwell-Härte HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
Spezifischer elektrischer Widerstand | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
Biegefestigkeit | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
Druckfestigkeit | DIN 51910 | 130 | MPa |
Elastizitätsmodul | DIN 51915 | 11,5×10³ | MPa |
Wärmeausdehnung (20-200℃) | DIN 51909 | 4,2X10-6 | K-1 |
Wärmeleitfähigkeit (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Es wurde speziell für die hocheffiziente Herstellung von Solarzellen entwickelt und unterstützt die Verarbeitung großer G12-Wafer. Das optimierte Trägerdesign erhöht den Durchsatz erheblich und ermöglicht höhere Ausbeuten und niedrigere Produktionskosten.
Artikel | Typ | Nummernwaferträger |
PEVCD-Grephite-Boot – Die 156er-Serie | 156-13 Grephitboot | 144 |
156-19 Grephitboot | 216 | |
156-21 Grephitboot | 240 | |
156-23 Graphitboot | 308 | |
PEVCD-Grephite-Boot – Die 125er-Serie | 125-15 Grephiteboot | 196 |
125-19 Grephiteboot | 252 | |
125-21 Graphitboot | 280 |