vet-china garantiert, dass jedes Produkt langlebig ist.Siliziumkarbid-Wafer-HandhabungspaddelDieses Wafer-Handhabungspaddel aus Siliziumkarbid zeichnet sich durch hervorragende Leistung und Langlebigkeit aus. Dank fortschrittlicher Fertigungsprozesse bleiben seine strukturelle Stabilität und Funktionalität auch bei hohen Temperaturen und chemischer Korrosion erhalten. Das innovative Design bietet optimale Unterstützung für die Waferhandhabung in der Halbleiterindustrie, insbesondere für hochpräzise automatisierte Prozesse.
SiC-Auslegerpaddelist eine Spezialkomponente, die in Halbleiterfertigungsanlagen wie Oxidationsöfen, Diffusionsöfen und Glühöfen eingesetzt wird. Ihre Hauptfunktion besteht im Be- und Entladen von Wafern sowie im Stützen und Transportieren der Wafer während Hochtemperaturprozessen.
Gemeinsame StrukturenvonSiCcAntileverpverderben: Eine Kragarmkonstruktion, die an einem Ende fixiert und am anderen frei ist, hat typischerweise eine flache, paddelartige Form.
ArbeitenpPrinzipvonSiCcAntileverpverderben:
Der freitragende Paddel kann sich innerhalb der Ofenkammer auf und ab oder vor und zurück bewegen und dient dazu, Wafer von den Beladebereichen zu den Verarbeitungsbereichen oder aus den Verarbeitungsbereichen heraus zu transportieren. Er stützt und stabilisiert die Wafer während der Hochtemperaturverarbeitung.
| Physikalische Eigenschaften von rekristallisiertem Siliciumcarbid | |
| Eigentum | Typischer Wert |
| Betriebstemperatur (°C) | 1600 °C (mit Sauerstoff), 1700 °C (reduzierendes Milieu) |
| SiC-Gehalt | > 99,96 % |
| Kostenloser Si-Inhalt | < 0,1 % |
| Schüttdichte | 2,60–2,70 g/cm²3 |
| Scheinbare Porosität | < 16 % |
| Druckfestigkeit | > 600 MPa |
| Kaltbiegefestigkeit | 80-90 MPa (20°C) |
| Warmbiegefestigkeit | 90-100 MPa (1400 °C) |
| Wärmeausdehnung bei 1500 °C | 4,70 10-6/°C |
| Wärmeleitfähigkeit bei 1200 °C | 23 W/m•K |
| Elastizitätsmodul | 240 GPa |
| Beständigkeit gegen Temperaturschocks | Äußerst gut |
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