Langlebiger Wafer-Handhabungspaddel aus Siliziumkarbid

Kurzbeschreibung:

vet-china bietet ein exzellentes, langlebiges Wafer-Handhabungspaddel aus Siliziumkarbid, das hohe Leistung und innovatives Design vereint und so ein effizientes und sicheres Wafer-Handling gewährleistet. Dank seiner Langlebigkeit und Präzision ist das Siliziumkarbid-Wafer-Handhabungspaddel von vet-china ein unverzichtbares Werkzeug in Ihrem Halbleiterfertigungsprozess, das die Produktionseffizienz steigert und das Risiko von Verunreinigungen reduziert.


Produktdetails

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vet-china garantiert, dass jedes Produkt langlebig ist.Siliziumkarbid-Wafer-HandhabungspaddelDieses Wafer-Handhabungspaddel aus Siliziumkarbid zeichnet sich durch hervorragende Leistung und Langlebigkeit aus. Dank fortschrittlicher Fertigungsprozesse bleiben seine strukturelle Stabilität und Funktionalität auch bei hohen Temperaturen und chemischer Korrosion erhalten. Das innovative Design bietet optimale Unterstützung für die Waferhandhabung in der Halbleiterindustrie, insbesondere für hochpräzise automatisierte Prozesse.

SiC-Auslegerpaddelist eine Spezialkomponente, die in Halbleiterfertigungsanlagen wie Oxidationsöfen, Diffusionsöfen und Glühöfen eingesetzt wird. Ihre Hauptfunktion besteht im Be- und Entladen von Wafern sowie im Stützen und Transportieren der Wafer während Hochtemperaturprozessen.

Gemeinsame StrukturenvonSiCcAntileverpverderben: Eine Kragarmkonstruktion, die an einem Ende fixiert und am anderen frei ist, hat typischerweise eine flache, paddelartige Form.

ArbeitenpPrinzipvonSiCcAntileverpverderben:

Der freitragende Paddel kann sich innerhalb der Ofenkammer auf und ab oder vor und zurück bewegen und dient dazu, Wafer von den Beladebereichen zu den Verarbeitungsbereichen oder aus den Verarbeitungsbereichen heraus zu transportieren. Er stützt und stabilisiert die Wafer während der Hochtemperaturverarbeitung.

Physikalische Eigenschaften von rekristallisiertem Siliciumcarbid

Eigentum

Typischer Wert

Betriebstemperatur (°C)

1600 °C (mit Sauerstoff), 1700 °C (reduzierendes Milieu)

SiC-Gehalt

> 99,96 %

Kostenloser Si-Inhalt

< 0,1 %

Schüttdichte

2,60–2,70 g/cm²3

Scheinbare Porosität

< 16 %

Druckfestigkeit

> 600 MPa

Kaltbiegefestigkeit

80-90 MPa (20°C)

Warmbiegefestigkeit

90-100 MPa (1400 °C)

Wärmeausdehnung bei 1500 °C

4,70 10-6/°C

Wärmeleitfähigkeit bei 1200 °C

23 W/m•K

Elastizitätsmodul

240 GPa

Beständigkeit gegen Temperaturschocks

Äußerst gut

Auslegerpaddel 9
Auslegerpaddel 8
生产设备1
公司客户1

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