Fortschrittliches SiC-Cantilever-Paddel für die Waferverarbeitung

Kurzbeschreibung:

Das von vet-china eingeführte Advanced SiC Cantilever Paddle for Wafer Processing nutzt Hightech-SiC-Materialien, um die Effizienz und Präzision der Waferverarbeitung zu verbessern. Das freitragende Paddel von Vet-china zeichnet sich durch eine hervorragende Hitzebeständigkeit und Korrosionsbeständigkeit aus und gewährleistet eine stabile Waferhandhabungsleistung in rauen Fertigungsumgebungen, was es zur idealen Wahl für die Verbesserung der Produktionsausbeute macht.

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Produktdetails

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Der FortgeschritteneSiC-Cantilever-Paddelfür die Waferverarbeitung von vet-china bietet eine hervorragende Lösung für die Halbleiterfertigung. Dieses freitragende Paddel besteht aus SiC-Material (Siliziumkarbid) und seine hohe Härte und Hitzebeständigkeit ermöglichen eine hervorragende Leistung bei hohen Temperaturen und korrosiven Umgebungen. Das Design des Cantilever Paddle ermöglicht eine zuverlässige Unterstützung des Wafers während der Verarbeitung, wodurch das Risiko einer Fragmentierung und Beschädigung verringert wird.

SiC-Cantilever-Paddelist eine spezielle Komponente, die in Halbleiterfertigungsanlagen wie Oxidationsöfen, Diffusionsöfen und Glühöfen verwendet wird. Die Hauptanwendung ist das Be- und Entladen von Wafern sowie das Stützen und Transportieren von Wafern bei Hochtemperaturprozessen.

Gemeinsame StrukturenvonSiCcAntihebelpverderben: Eine freitragende Struktur, die an einem Ende befestigt und am anderen Ende frei ist, hat typischerweise ein flaches und paddelartiges Design.

VET Energy verwendet hochreine rekristallisierte Siliziumkarbidmaterialien, um die Qualität zu gewährleisten.

Physikalische Eigenschaften von rekristallisiertem Siliziumkarbid
Eigentum	Typischer Wert
Arbeitstemperatur (°C)	1600°C (mit Sauerstoff), 1700°C (reduzierende Umgebung)
SiC-Gehalt	> 99,96 %
Kostenlose Si-Inhalte	< 0,1 %
Schüttdichte	2,60–2,70 g/cm³
Scheinbare Porosität	< 16 %
Kompressionsstärke	> 600MPa
Kaltbiegefestigkeit	80-90 MPa (20°C)
Warmbiegefestigkeit	90–100 MPa (1400 °C)
Wärmeausdehnung bei 1500 °C	4,70 10^-6/°C
Wärmeleitfähigkeit bei 1200 °C	23W/m•K
Elastizitätsmodul	240 GPa
Thermoschockbeständigkeit	Extrem gut