Fortschrittlicher SiC-Ausleger-Paddel für die Waferbearbeitung

Kurzbeschreibung:

Der von vet-china eingeführte fortschrittliche SiC-Ausleger-Paddle für die Waferbearbeitung nutzt Hightech-SiC-Materialien, um die Effizienz und Präzision der Waferbearbeitung zu verbessern. Der Ausleger-Paddle von vet-china zeichnet sich durch hervorragende Hitze- und Korrosionsbeständigkeit aus und gewährleistet so eine stabile Waferhandhabung auch unter anspruchsvollen Produktionsbedingungen. Damit ist er die ideale Wahl zur Steigerung der Produktionsausbeute.

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Die FortgeschrittenenSiC-AuslegerpaddelDie von vet-china entwickelte Wafer-Bearbeitungshilfe bietet eine hervorragende Lösung für die Halbleiterfertigung. Diese aus Siliziumkarbid (SiC) gefertigte Cantilever-Paddle-Konstruktion ermöglicht dank ihrer hohen Härte und Hitzebeständigkeit eine optimale Leistung auch bei hohen Temperaturen und in korrosiven Umgebungen. Die Konstruktion der Cantilever-Paddle-Konstruktion gewährleistet eine zuverlässige Wafer-Unterstützung während der Bearbeitung und reduziert so das Risiko von Fragmentierung und Beschädigung.

SiC-Auslegerpaddelist eine Spezialkomponente, die in Halbleiterfertigungsanlagen wie Oxidationsöfen, Diffusionsöfen und Glühöfen eingesetzt wird. Ihre Hauptfunktion besteht im Be- und Entladen von Wafern sowie im Stützen und Transportieren der Wafer während Hochtemperaturprozessen.

Gemeinsame StrukturenvonSiCcAntileverpverderben: Eine Kragarmkonstruktion, die an einem Ende fixiert und am anderen frei ist, hat typischerweise eine flache, paddelartige Form.

VET Energy verwendet hochreine, rekristallisierte Siliciumcarbid-Materialien, um die Qualität zu gewährleisten.

Physikalische Eigenschaften von rekristallisiertem Siliciumcarbid
Eigentum	Typischer Wert
Betriebstemperatur (°C)	1600 °C (mit Sauerstoff), 1700 °C (reduzierendes Milieu)
SiC-Gehalt	> 99,96 %
Kostenloser Si-Inhalt	< 0,1 %
Schüttdichte	2,60–2,70 g/cm²³
Scheinbare Porosität	< 16 %
Druckfestigkeit	> 600MPa
Kaltbiegefestigkeit	80-90 MPa (20°C)
Warmbiegefestigkeit	90-100 MPa (1400 °C)
Wärmeausdehnung bei 1500 °C	4,70 10^-6/°C
Wärmeleitfähigkeit bei 1200 °C	23W/m•K
Elastizitätsmodul	240 GPa
Beständigkeit gegen Temperaturschocks	Äußerst gut