Angrenzendes Wafer-Boot

Kurzbeschreibung:

Das Contiguous Wafer Boat von vet-china ist für die effiziente Handhabung von Wafern in der Halbleiterfertigung konzipiert. Die mit Präzision entwickelte Lösung von vet-china gewährleistet thermische Stabilität und chemische Beständigkeit, optimiert Produktionsprozesse und minimiert gleichzeitig Schäden und steigert den Durchsatz.

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Produktdetails

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vet-china stellt ein hochmodernes Contiguous Wafer Boat vor, das für die nächste Generation der Halbleiterfertigung entwickelt wurde. Dieses sorgfältig konstruierte Boot bietet beispiellose Präzision bei der Waferhandhabung, gewährleistet einen reibungslosen Betrieb und reduziert das Risiko von Schäden während der Verarbeitung erheblich.

Das aus hochwertigen Materialien gefertigte Contiguous Wafer Boat zeichnet sich durch hervorragende thermische Stabilität und außergewöhnliche chemische Beständigkeit aus und ist somit ideal für Umgebungen mit hohen Temperaturen und rauen Chemikalien. Sein innovatives Design sorgt dafür, dass die Wafer sicher gehalten und perfekt ausgerichtet werden, wodurch der Durchsatz optimiert und die Fertigungseffizienz gesteigert wird.

Dieses hochmoderne Waferboot ist auf die anspruchsvollen Anforderungen moderner Halbleiterfabriken zugeschnitten und unterstützt verschiedene Wafergrößen und -konfigurationen. Durch die Integration des Contiguous Wafer Boat von vet-china in Ihre Produktionslinie können Sie eine verbesserte Leistung, kürzere Ausfallzeiten und höhere Ertragsraten erwarten.

Erleben Sie den Unterschied mit dem Engagement von vet-china für Qualität und Innovation und der Lieferung von Produkten, die die Grenzen der Halbleiterfertigung verschieben. Wählen Sie das Contiguous Wafer Boat und steigern Sie Ihre Waferverarbeitungsfähigkeiten auf ein neues Niveau.

Eigenschaften von rekristallisiertem Siliziumkarbid

Rekristallisiertes Siliziumkarbid (R-SiC) ist ein Hochleistungsmaterial mit einer Härte, die nur von Diamant übertroffen wird und bei einer hohen Temperatur über 2000℃ gebildet wird. Es behält viele hervorragende Eigenschaften von SiC bei, wie z. B. Hochtemperaturfestigkeit, starke Korrosionsbeständigkeit, ausgezeichnete Oxidationsbeständigkeit, gute Temperaturwechselbeständigkeit und so weiter.

● Hervorragende mechanische Eigenschaften. Rekristallisiertes Siliziumkarbid hat eine höhere Festigkeit und Steifigkeit als Kohlenstofffasern, eine hohe Schlagfestigkeit, kann in Umgebungen mit extremen Temperaturen eine gute Leistung erbringen und kann in einer Vielzahl von Situationen eine bessere Gegengewichtsleistung erbringen. Darüber hinaus weist es eine gute Flexibilität auf und wird durch Dehnung und Biegung nicht so leicht beschädigt, was seine Leistung erheblich verbessert.

● Hohe Korrosionsbeständigkeit. Rekristallisiertes Siliziumkarbid weist eine hohe Korrosionsbeständigkeit gegenüber einer Vielzahl von Medien auf, kann die Erosion einer Vielzahl von korrosiven Medien verhindern, kann seine mechanischen Eigenschaften über einen langen Zeitraum beibehalten, weist eine starke Haftung auf, sodass es eine längere Lebensdauer hat. Darüber hinaus weist es eine gute thermische Stabilität auf, kann sich an einen bestimmten Temperaturbereich anpassen und seine Anwendungswirkung verbessern.

● Beim Sintern kommt es nicht zu Schrumpfungen. Da es beim Sintern nicht zu einer Schrumpfung kommt, führt keine Restspannung zu Verformungen oder Rissen im Produkt und es können Teile mit komplexen Formen und hoher Präzision hergestellt werden.

重结晶碳化硅物理特性 Physikalische Eigenschaften von rekristallisiertem Siliziumkarbid
性质 / Eigentum	典型数值 / Typischer Wert
使用温度/ Arbeitstemperatur (°C)	1600°C (mit Sauerstoff), 1700°C (reduzierende Umgebung)
SiC含量/ SiC-Gehalt	> 99,96 %
自由Si含量/ Kostenloser Si-Inhalt	< 0,1 %
体积密度/Schüttdichte	2,60–2,70 g/cm³
气孔率/ Scheinbare Porosität	< 16 %
抗压强度/ Kompressionsstärke	> 600MPa
常温抗弯强度/Kaltbiegefestigkeit	80-90 MPa (20°C)
高温抗弯强度Warmbiegefestigkeit	90–100 MPa (1400 °C)
热膨胀系数/ Wärmeausdehnung bei 1500 °C	4,70 10^-6/°C
导热系数/Wärmeleitfähigkeit bei 1200 °C	23W/m•K
杨氏模量/ Elastizitätsmodul	240 GPa
抗热震性/ Thermoschockbeständigkeit	Extrem gut

VET Energy ist Dieechter Hersteller von maßgeschneiderten Graphit- und Siliziumkarbidprodukten mit CVD-Beschichtung,liefern kannverschiedenkundenspezifische Teile für die Halbleiter- und Photovoltaikindustrie. OUnser technisches Team stammt aus führenden inländischen Forschungseinrichtungen und kann professionellere Materiallösungen anbietenfür dich.

Wir entwickeln kontinuierlich fortschrittliche Prozesse, um fortschrittlichere Materialien bereitzustellen.Undhaben eine exklusive patentierte Technologie entwickelt, die die Verbindung zwischen der Beschichtung und dem Untergrund fester und weniger anfällig für Ablösungen machen kann.

CVD SiC薄膜基本物理性能 Grundlegende physikalische Eigenschaften von CVD-SiCBeschichtung
性质 / Eigentum	典型数值 / Typischer Wert
晶体结构 / Kristallstruktur	FCC-β-Phase多晶, 主要为（111）取向
密度 / Dichte	3,21 g/cm³
硬度 / Härte	2500 U/min (500 g Ladung)
晶粒大小 / Korngröße	2~10μm
纯度 / Chemische Reinheit	99,99995 %
热容 / Wärmekapazität	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimationstemperatur	2700℃
抗弯强度 / Biegefestigkeit	415 MPa RT 4-Punkt
杨氏模量 / Elastizitätsmodul	430 Gpa 4pt Biegung, 1300℃
导热系数 / ThermalLeitfähigkeit	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Wärmeausdehnung (CTE)	4,5×10^-6K^-1