VET EnergiKiselkarbidbeläggning grafitbricka, Plate och Cover är konstruerade för att leverera högsta prestanda, vilket ger tillförlitlig och konsekvent drift under långvarig användning, vilket gör det till ett viktigt val för waferbehandlingstillämpningar inom halvledarindustrin. Denna högpresterandeKiselkarbidbeläggning grafitplattaståtar med exceptionell värmebeständighet, överlägsen termisk enhetlighet och enastående kemisk stabilitet, särskilt under höga temperaturer. Dess konstruktion med hög renhet, tillsammans med avancerad erosionsbeständighet, gör den oumbärlig för krävande miljöer som t.ex.MOCVD-susceptorer.
Nyckelegenskaper hos kiselkarbidbeläggning grafitbricka, plåt och lock
1. Oxidationsbeständighet vid hög temperatur:Tål temperaturer upp till 1700 ℃, vilket gör att den kan prestera pålitligt under extrema förhållanden.
2. Hög renhet och termisk enhetlighet:Konsekvent hög renhet och jämn värmefördelning är avgörande för MOCVD-applikationer.
3. Exceptionell korrosionsbeständighet:Resistent mot syror, alkalier, salter och olika organiska reagenser, vilket säkerställer långtidsstabilitet i olika miljöer.
4. Hög hårdhet och kompakt yta:Har en tät yta med fina partiklar, vilket förbättrar den totala hållbarheten och motståndskraften mot slitage.
5. Förlängd livslängd:Konstruerad för lång livslängd, överträffar konventionellakiselkarbidbelagda grafitsusceptoreri tuffa halvledarbearbetningsmiljöer.
CVD SiC薄膜基本物理性能 Grundläggande fysikaliska egenskaper hos CVD SiCbeläggning | |
性质 / Fastighet | 典型数值 / Typiskt värde |
晶体结构 / Kristallstruktur | FCC β-fas多晶,主要为(111)取向 |
密度 / Densitet | 3,21 g/cm³ |
硬度 / Hårdhet | 2500 维氏硬度(500g last) |
晶粒大小 / kornstorlek | 2~10μm |
纯度 / Kemisk renhet | 99,99995 % |
热容 / Värmekapacitet | 640 J·kg-1·K-1 |
升华温度 / Sublimeringstemperatur | 2700 ℃ |
抗弯强度 / Flexural Strength | 415 MPa RT 4-punkts |
杨氏模量 / Young's Modulus | 430 Gpa 4pt böj, 1300℃ |
导热系数 / ThermalLedningsförmåga | 300W·m-1·K-1 |
热膨胀系数 / Termisk expansion (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VET Energys expertis inom kundanpassade grafit- och kiselkarbidlösningar
Som en pålitlig tillverkare är VET Energy specialiserat på specialdesignade grafitsusceptorer och kiselkarbidbeläggningslösningar. Vi erbjuder en rad produkter skräddarsydda för halvledar- och solcellsindustrin, inklusiveSiC-belagda grafitkomponentersom brickor, tallrikar och överdrag. Vårt produktsortiment innehåller också olika beläggningsalternativ, som t.exSiC-beläggning för MOCVD, TaC-beläggning, glasartad kolbeläggning, och pyrolytisk kolbeläggning, vilket säkerställer att vi uppfyller de varierande kraven från högteknologiska industrier.
Vårt erfarna tekniska team, bestående av experter från inhemska toppforskningsinstitutioner, tillhandahåller omfattande materiallösningar för kunder. Vi förfinar kontinuerligt våra avancerade processer, inklusive en exklusiv patenterad teknologi som förbättrar bindningen mellan kiselkarbidbeläggningen och grafitsubstratet, vilket minskar risken för lossning och förlänger produktens livslängd ytterligare.
Tillämpningar och fördelar inom halvledartillverkning
DeKiselkarbidbeläggning för MOCVDgör dessa grafitsusceptorer mycket effektiva i korrosiva miljöer med hög temperatur. Oavsett om de används som grafitwaferbärare eller andra MOCVD-komponenter, visar dessa kiselkarbidbelagda susceptorer överlägsen hållbarhet och prestanda. För dig som söker pålitliga lösningar inomSiC-belagd grafitsusceptormarknaden, erbjuder VET Energys kiselkarbidbelagda grafitbricka, plåt och lock ett robust och mångsidigt alternativ som uppfyller de rigorösa kraven från halvledarindustrin.
Genom att fokusera på avancerad materialvetenskap har VET Energy åtagit sig att leverera högpresterande SiC-belagda grafitlösningar som driver innovation inom halvledarbearbetning och säkerställer tillförlitlig prestanda i alla MOCVD-relaterade applikationer.
VET Energy är den verkliga tillverkaren av skräddarsydda grafit- och kiselkarbidprodukter med olika beläggningar som SiC-beläggning, TaC-beläggning, glasartad kolbeläggning, pyrolytisk kolbeläggning, etc., kan leverera olika skräddarsydda delar för halvledar- och solcellsindustrin.
Vårt tekniska team kommer från de bästa inhemska forskningsinstitutioner, kan tillhandahålla mer professionella materiallösningar för dig.
Vi utvecklar kontinuerligt avancerade processer för att tillhandahålla mer avancerade material, och har arbetat fram en exklusiv patenterad teknologi, som kan göra bindningen mellan beläggningen och underlaget tätare och mindre benägen att lossna.
Varmt välkommen att besöka vår fabrik, låt oss diskutera vidare!