SiC Coating Grafit MOCVD Wafer Carriers Susceptorer

SiC Beläggning Grafit MOCVD Wafer Carriers Susceptorer Utvald bild

Kort beskrivning:

VET Energy SiC Coated MOCVD Susceptor for Epitaxial Growth är en högpresterande produkt designad för att ge konsekvent och pålitlig prestanda under en längre period. Den har superbra värmebeständighet och termisk enhetlighet, hög renhet, erosionsbeständighet, vilket gör den till den perfekta lösningen för waferbearbetningstillämpningar.

Skicka e-post till oss Ladda ner som PDF

Produktdetaljer

Produkttaggar

SiC-beläggning grafit MOCVD Waferbärare/susceptor

Alla våra susceptorer är gjorda av höghållfast isostatisk grafit. Dra nytta av den höga renheten hos våra grafiter – utvecklade speciellt för utmanande processer som epitaxi, kristalltillväxt, jonimplantation och plasmaetsning, samt för produktion av LED-chips.

Funktioner hos våra produkter:

1. Högtemperaturoxidationsbeständighet upp till 1700 ℃.
2. Hög renhet och termisk enhetlighet
3. Utmärkt korrosionsbeständighet: syra, alkali, salt och organiska reagenser.
4. Hög hårdhet, kompakt yta, fina partiklar.
5. Längre livslängd och mer hållbar

CVD SiC薄膜基本物理性能 Grundläggande fysikaliska egenskaper hos CVD SiCbeläggning
性质 / Fastighet	典型数值 / Typiskt värde
晶体结构 / Kristallstruktur	FCC β-fas多晶，主要为（111）取向
密度 / Densitet	3,21 g/cm³
硬度 / Hårdhet	2500 维氏硬度（500g last）
晶粒大小 / kornstorlek	2~10μm
纯度 / Kemisk renhet	99,99995 %
热容 / Värmekapacitet	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimeringstemperatur	2700℃
抗弯强度 / Flexural Strength	415 MPa RT 4-punkts
杨氏模量 / Young's Modulus	430 Gpa 4pt böj, 1300℃
导热系数 / ThermalLedningsförmåga	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Termisk expansion (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy är den verkliga tillverkaren av skräddarsydda grafit- och kiselkarbidprodukter med olika beläggningar som SiC-beläggning, TaC-beläggning, glasartad kolbeläggning, pyrolytisk kolbeläggning, etc., kan leverera olika skräddarsydda delar för halvledar- och solcellsindustrin.

Vårt tekniska team kommer från de bästa inhemska forskningsinstitutioner, kan tillhandahålla mer professionella materiallösningar för dig.

Vi utvecklar kontinuerligt avancerade processer för att tillhandahålla mer avancerade material, och har arbetat fram en exklusiv patenterad teknologi, som kan göra bindningen mellan beläggningen och underlaget tätare och mindre benägen att lossna.

Varmt välkommen att besöka vår fabrik, låt oss diskutera vidare!