Podnosová doska a kryt z grafitového povlaku z karbidu kremíka

Grafitová doska podnosu a kryt s povlakom z karbidu kremíka

Stručný popis:

Grafitová doska a kryt s povlakom z karbidu kremíka VET Energy je vysokovýkonný produkt navrhnutý tak, aby poskytoval konzistentný a spoľahlivý výkon po dlhú dobu. Má super dobrú tepelnú odolnosť a tepelnú rovnomernosť, vysokú čistotu, odolnosť proti erózii, vďaka čomu je dokonalým riešením pre aplikácie na spracovanie plátkov.

Pošlite nám e-mail Stiahnuť ako PDF

Detail produktu

Štítky produktu

Energia OVPGrafitový podnos s povlakom z karbidu kremíka, Plate a Cover sú navrhnuté tak, aby poskytovali špičkový výkon a poskytovali spoľahlivú a konzistentnú prevádzku pri dlhodobom používaní, čo z neho robí základnú voľbu pre aplikácie spracovania doštičiek v polovodičovom priemysle. Tento vysokovýkonnýGrafitová doska s povlakom karbidu kremíkasa môže pochváliť výnimočnou tepelnou odolnosťou, vynikajúcou tepelnou rovnomernosťou a vynikajúcou chemickou stabilitou, najmä pri vysokých teplotách. Jeho konštrukcia s vysokou čistotou v spojení s pokročilou odolnosťou proti erózii ho robí nepostrádateľným pre náročné prostredia, ako napr.susceptory MOCVD.

Kľúčové vlastnosti grafitového podnosu, dosky a krytu s povlakom z karbidu kremíka

1. Odolnosť proti vysokej teplote:Odoláva teplotám až do 1700 ℃, čo mu umožňuje spoľahlivo fungovať v extrémnych podmienkach.

2. Vysoká čistota a tepelná jednotnosť:Konzistentná vysoká čistota a rovnomerné rozloženie tepla sú rozhodujúce pre aplikácie MOCVD.

3. Výnimočná odolnosť proti korózii:Odolný voči kyselinám, zásadám, soliam a rôznym organickým činidlám, zaisťuje dlhodobú stabilitu v rôznych prostrediach.

4. Vysoká tvrdosť a kompaktný povrch:Má hustý povrch s jemnými časticami, ktorý zlepšuje celkovú životnosť a odolnosť proti opotrebovaniu.

5. Predĺžená životnosť:Navrhnuté pre dlhú životnosť, prekonávajúce konvenčnégrafitové susceptory potiahnuté karbidom kremíkav náročných prostrediach spracovania polovodičov.

CVD SiC薄膜基本物理性能 Základné fyzikálne vlastnosti CVD SiCnáter
性质 / Nehnuteľnosť	典型数值 / Typická hodnota
晶体结构 / Kryštálová štruktúra	FCC β fáza多晶，主要为（111）取向
密度 / Hustota	3,21 g/cm³
硬度 / Tvrdosť	2500 维氏硬度（500g náplň）
晶粒大小 / Veľkosť zrna	2 ~ 10 μm
纯度 / Chemická čistota	99,99995 %
热容 / Tepelná kapacita	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Teplota sublimácie	2700 ℃
抗弯强度 / Pevnosť v ohybe	415 MPa RT 4-bod
杨氏模量 / Youngov modul	Ohyb 430 Gpa 4pt, 1300 ℃
导热系数 / ThermalVodivosť	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Tepelná expanzia (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1

Odbornosť spoločnosti VET Energy v oblasti prispôsobených riešení grafitu a karbidu kremíka

Ako dôveryhodný výrobca sa VET Energy špecializuje na na mieru navrhnuté grafitové susceptory a riešenia povlakov z karbidu kremíka. Ponúkame rad produktov šitých na mieru pre polovodičový a fotovoltaický priemysel, vrátaneGrafitové komponenty potiahnuté SiCako podnosy, taniere a kryty. Naša produktová rada zahŕňa aj rôzne možnosti povrchovej úpravy, ako naprSiC povlak pre MOCVD, TaC povlak, sklenený uhlíkový povlaka pyrolytický uhlíkový povlak, čím zaisťujeme, že spĺňame rôzne požiadavky high-tech priemyslu.

Náš skúsený technický tím zložený z odborníkov zo špičkových domácich výskumných inštitúcií poskytuje klientom komplexné materiálové riešenia. Neustále zdokonaľujeme naše pokročilé procesy vrátane exkluzívnej patentovanej technológie, ktorá zlepšuje spojenie medzi povlakom z karbidu kremíka a grafitovým substrátom, čím sa znižuje riziko oddelenia a ďalej sa predlžuje životnosť produktu.

Aplikácie a výhody vo výrobe polovodičov

ThePovlak z karbidu kremíka pre MOCVDrobí tieto grafitové susceptory vysoko účinnými vo vysokoteplotnom, korozívnom prostredí. Či už sa používajú ako nosiče grafitových plátkov alebo iné komponenty MOCVD, tieto susceptory potiahnuté karbidom kremíka vykazujú vynikajúcu odolnosť a výkon. Pre tých, ktorí hľadajú spoľahlivé riešenia vGrafitový susceptor potiahnutý SiCNa trhu ponúka VET Energy grafitový podnos, doska a kryt potiahnutý karbidom kremíka robustnú a všestrannú možnosť, ktorá spĺňa prísne požiadavky polovodičového priemyslu.

Zameraním sa na pokročilú materiálovú vedu sa spoločnosť VET Energy zaviazala dodávať vysokovýkonné grafitové riešenia s povlakom SiC, ktoré poháňajú inovácie v oblasti spracovania polovodičov a zabezpečujú spoľahlivý výkon vo všetkých aplikáciách súvisiacich s MOCVD.

VET Energy je skutočným výrobcom prispôsobených produktov z grafitu a karbidu kremíka s rôznymi povlakmi, ako je povlak SiC, povlak TaC, povlak zo skleneného uhlíka, povlak pyrolytického uhlíka atď., Môže dodávať rôzne prispôsobené diely pre polovodičový a fotovoltaický priemysel.

Náš technický tím pochádza zo špičkových domácich výskumných inštitúcií, môže vám poskytnúť profesionálnejšie materiálové riešenia.

Neustále vyvíjame pokročilé procesy na poskytovanie pokročilejších materiálov a vyvinuli sme exkluzívnu patentovanú technológiu, vďaka ktorej je spojenie medzi náterom a substrátom pevnejšie a menej náchylné na oddelenie.

Srdečne vás vítame na návšteve našej továrne, poďme ďalej diskutovať!