4 tommer GaN på SiC Wafer

Kort beskrivelse:

VET Energys 4-tommers GaN på SiC-wafer er et revolusjonerende produkt innen kraftelektronikk. Denne waferen kombinerer den utmerkede termiske ledningsevnen til silisiumkarbid (SiC) med høy effekttetthet og lavt tap av galliumnitrid (GaN), noe som gjør den til et ideelt valg for å lage høyfrekvente enheter med høy effekt. VET Energy sikrer den utmerkede ytelsen og konsistensen til waferen gjennom avansert MOCVD epitaksial teknologi.


Produktdetaljer

Produktetiketter

VET Energys produktlinje er ikke begrenset til GaN på SiC-skiver. Vi tilbyr også et bredt utvalg av halvledersubstratmaterialer, inkludert Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, SiN Substrate, Epi Wafer, etc. I tillegg utvikler vi også aktivt nye halvledermaterialer med brede båndgap, som Gallium Oxide Ga2O3 og AlN Wafer, for å møte fremtidens kraftelektronikkindustris behov for enheter med høyere ytelse.

VET Energy tilbyr fleksible tilpasningstjenester, og kan tilpasse GaN epitaksiale lag med forskjellige tykkelser, forskjellige typer doping og forskjellige waferstørrelser i henhold til kundenes spesifikke behov. I tillegg tilbyr vi også profesjonell teknisk støtte og ettersalgsservice for å hjelpe kunder med å raskt utvikle høyytelses kraftelektroniske enheter.

第6页-36
第6页-35

WAFERING SPESIFIKASJONER

*n-Pm=n-type Pm-Grade,n-Ps=n-type Ps-Grade,Sl=Halvisolerende

Punkt

8-tommers

6-tommers

4-tommers

nP

n-Pm

n-Ps

SI

SI

TTV (GBIR)

≤6um

≤6um

Bow(GF3YFCD)-absolutt verdi

≤15μm

≤15μm

≤25μm

≤15μm

Warp(GF3YFER)

≤25μm

≤25μm

≤40μm

≤25μm

LTV(SBIR)-10mmx10mm

<2μm

Wafer Edge

Fasing

OVERFLATEBEHANDLING

*n-Pm=n-type Pm-Grade,n-Ps=n-type Ps-Grade,Sl=Halvisolerende

Punkt

8-tommers

6-tommers

4-tommers

nP

n-Pm

n-Ps

SI

SI

Overflatefinish

Dobbeltsidet optisk polsk, Si-Face CMP

Overflateruhet

(10um x 10um) Si-FaceRa≤0,2nm
C-Face Ra≤ 0,5nm

(5umx5um) Si-Face Ra≤0,2nm
C-Face Ra≤0,5nm

Edge Chips

Ingen tillatt (lengde og bredde≥0,5 mm)

Innrykk

Ingen tillatt

Riper (Si-Face)

Antall.≤5,kumulativ
Lengde≤0,5×wafer diameter

Antall.≤5,kumulativ
Lengde≤0,5×wafer diameter

Antall.≤5,kumulativ
Lengde≤0,5×wafer diameter

Sprekker

Ingen tillatt

Kantekskludering

3 mm

tech_1_2_size
下载 (2)

  • Tidligere:
  • Neste:

  • WhatsApp nettprat!