Omkrystallisert silisiumkarbidskivebåt med CVD-belegg

Kort beskrivelse:

VET Energy Recrystallized Silicon Carbide Wafer Boat er et høyytelsesprodukt designet for å gi konsistent og pålitelig ytelse over en lengre periode. Den har supergod varmebestandighet og termisk ensartethet, høy renhet, erosjonsmotstand, noe som gjør den til den perfekte løsningen for waferbehandlingsapplikasjoner.


Produktdetaljer

Produktetiketter

Egenskaper til rekrystallisert silisiumkarbid

Rekrystallisert silisiumkarbid (R-SiC) er et høyytelsesmateriale med hardhet nest etter diamant, som dannes ved en høy temperatur over 2000 ℃. Den beholder mange utmerkede egenskaper til SiC, som høy temperaturstyrke, sterk korrosjonsbestandighet, utmerket oksidasjonsmotstand, god termisk sjokkbestandighet og så videre.

● Utmerkede mekaniske egenskaper. Omkrystallisert silisiumkarbid har høyere styrke og stivhet enn karbonfiber, høy slagfasthet, kan spille en god ytelse i ekstreme temperaturmiljøer, kan spille en bedre motvekt i en rekke situasjoner. I tillegg har den også god fleksibilitet og blir ikke lett skadet av strekking og bøying, noe som forbedrer ytelsen betraktelig.

● Høy korrosjonsbestandighet. Omkrystallisert silisiumkarbid har høy korrosjonsbestandighet mot en rekke medier, kan forhindre erosjon av en rekke korrosive medier, kan opprettholde sine mekaniske egenskaper i lang tid, har en sterk vedheft, slik at den har lengre levetid. I tillegg har den også god termisk stabilitet, kan tilpasse seg et visst område av temperaturendringer, forbedre påføringseffekten.

● Sintring krymper ikke. Fordi sintringsprosessen ikke krymper, vil ingen gjenværende spenning forårsake deformasjon eller sprekkdannelse av produktet, og deler med komplekse former og høy presisjon kan forberedes.

IMG_9497
IMG_9503

重结晶碳化硅物理特性

Fysiske egenskaper til omkrystallisert silisiumkarbid

性质 / Eiendom

典型数值 / Typisk verdi

使用温度/ Arbeidstemperatur (°C)

1600°C (med oksygen), 1700°C (reduserende miljø)

SiC含量/ SiC innhold

> 99,96 %

自由Si含量/ Gratis Si-innhold

< 0,1 %

体积密度/Bulk tetthet

2,60-2,70 g/cm3

气孔率/ Tilsynelatende porøsitet

< 16 %

抗压强度/ Kompresjonsstyrke

> 600MPa

常温抗弯强度/Kald bøyestyrke

80–90 MPa (20 °C)

高温抗弯强度Varmbøyningsstyrke

90-100 MPa (1400 °C)

热膨胀系数/ Termisk ekspansjon @1500°C

4,70 10-6/°C

导热系数/Termisk ledningsevne @1200°C

23W/m•K

杨氏模量/ Elastisk modul

240 GPa

抗热震性/ Termisk støtmotstand

Ekstremt bra

VET Energy er deekte produsent av tilpassede grafitt- og silisiumkarbidprodukter med CVD-belegg,kan leverediversetilpassede deler for halvleder- og solcelleindustrien. Our tekniske team kommer fra topp innenlandske forskningsinstitusjoner, kan tilby mer profesjonelle materialløsningerfor deg.

Vi utvikler kontinuerlig avanserte prosesser for å tilby mer avanserte materialer,oghar utarbeidet en eksklusiv patentert teknologi, som kan gjøre bindingen mellom belegget og underlaget tettere og mindre utsatt for løsrivelse.

CVD SiC薄膜基本物理性能

Grunnleggende fysiske egenskaper til CVD SiCbelegg

性质 / Eiendom

典型数值 / Typisk verdi

晶体结构 / Krystallstruktur

FCC β-fase多晶,主要为(111)取向

密度 / Tetthet

3,21 g/cm³

硬度 / Hardhet

2500 维氏硬度(500g belastning)

晶粒大小 / Kornstørrelse

2~10μm

纯度 / Kjemisk renhet

99,99995 %

热容 / Varmekapasitet

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Sublimeringstemperatur

2700 ℃

抗弯强度 / Bøyestyrke

415 MPa RT 4-punkts

杨氏模量 / Youngs modul

430 Gpa 4pt bøy, 1300 ℃

导热系数 / ThermalKonduktivitet

300 W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Termisk ekspansjon (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

Hjertelig velkommen til å besøke fabrikken vår, la oss diskutere videre!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户


  • Tidligere:
  • Neste:

  • WhatsApp nettprat!