VET Energys 8-tommers silisiumskiver er mye brukt innen kraftelektronikk, sensorer, integrerte kretser og andre felt. Som en leder i halvlederindustrien er vi forpliktet til å tilby Si Wafer-produkter av høy kvalitet for å møte de økende behovene til våre kunder.
I tillegg til Si Wafer, tilbyr VET Energy også et bredt spekter av halvledersubstratmaterialer, inkludert SiC Substrate, SOI Wafer, SiN Substrate, Epi Wafer, etc. Vår produktlinje dekker også nye halvledermaterialer med brede båndgap som Gallium Oxide Ga2O3 og AlN Wafer, gir sterk støtte for utviklingen av neste generasjons kraftelektroniske enheter.
VET Energy har avansert produksjonsutstyr og et komplett kvalitetsstyringssystem for å sikre at hver wafer oppfyller strenge industristandarder. Våre produkter har ikke bare utmerkede elektriske egenskaper, men har også god mekanisk styrke og termisk stabilitet.
VET Energy gir kundene skreddersydde waferløsninger, inkludert wafere av ulike størrelser, typer og dopingkonsentrasjoner. I tillegg tilbyr vi også profesjonell teknisk støtte og ettersalgsservice for å hjelpe kunder med å løse ulike problemer som oppstår under produksjonsprosessen.
WAFERING SPESIFIKASJONER
*n-Pm=n-type Pm-Grade,n-Ps=n-type Ps-Grade,Sl=Halvisolerende
Punkt | 8-tommers | 6-tommers | 4-tommers | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
TTV (GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
Bow(GF3YFCD)-absolutt verdi | ≤15μm | ≤15μm | ≤25μm | ≤15μm | |
Warp(GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
LTV(SBIR)-10mmx10mm | <2μm | ||||
Wafer Edge | Fasing |
OVERFLATEBEHANDLING
*n-Pm=n-type Pm-Grade,n-Ps=n-type Ps-Grade,Sl=Halvisolerende
Punkt | 8-tommers | 6-tommers | 4-tommers | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
Overflatefinish | Dobbeltsidet optisk polsk, Si-Face CMP | ||||
Overflateruhet | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0,2nm | (5umx5um) Si-Face Ra≤0,2nm | |||
Edge Chips | Ingen tillatt (lengde og bredde≥0,5 mm) | ||||
Innrykk | Ingen tillatt | ||||
Riper (Si-Face) | Antall.≤5,kumulativ | Antall.≤5,kumulativ | Antall.≤5,kumulativ | ||
Sprekker | Ingen tillatt | ||||
Kantekskludering | 3 mm |