VET エネルギー炭化ケイ素コーティンググラファイトトレイ、プレート、およびカバーは、最高レベルのパフォーマンスを提供するように設計されており、長期間の使用にわたって信頼性が高く一貫した動作を提供するため、半導体業界のウェーハ処理アプリケーションにとって不可欠な選択肢となっています。この高性能な炭化ケイ素コーティンググラファイトプレート特に高温条件下で、優れた耐熱性、優れた熱均一性、優れた化学的安定性を誇ります。その高純度構造と高度な耐浸食性により、次のような要求の厳しい環境に不可欠なものとなっています。MOCVDサセプタ.
炭化ケイ素コーティンググラファイトトレイ、プレート、カバーの主な特長
1. 高温酸化耐性:最大 1700℃ の温度に耐え、極限条件でも確実に動作します。
2. 高純度および熱均一性:MOCVD アプリケーションでは、一貫した高純度および均一な熱分布が重要です。
3. 優れた耐食性:酸、アルカリ、塩、各種有機試薬に対する耐性があり、さまざまな環境下でも長期安定性を確保します。
4.高硬度と緻密な表面:細かい粒子で緻密な表面が特徴で、全体的な耐久性と耐摩耗性が向上します。
5.耐用年数の延長:長寿命を目指して設計されており、従来の製品を上回ります。炭化ケイ素でコーティングされたグラファイトサセプター過酷な半導体処理環境で。
CVD SiC膜の基本物理性能 CVD SiCの基本物性コーティング | |
性质 / 財産 | 典型的な数値 / 代表値 |
結晶構造 / 結晶構造 | FCC βフェーズ多結晶、主である(111)取向 |
密度 / 密度 | 3.21 g/cm3 |
硬度 / 硬度 | 2500维度硬度(500g荷重) |
結晶粒大小 / 粒度 | 2~10μm |
度 / 化学純度 | 99.99995% |
熱容 / 熱容量 | 640J・kg-1・K-1 |
昇华温度 / 昇華温度 | 2700℃ |
抗强度 / 曲げ強度 | 415MPa RT 4点 |
杨氏模量 / ヤング率 | 430 Gpa 4pt曲げ、1300℃ |
导熱系数 / テルマ私導電率 | 300W・m-1・K-1 |
熱膨張胀系数 / 熱膨張(CTE) | 4.5×10-6K-1 |
VET Energy のカスタマイズされたグラファイトおよび炭化ケイ素ソリューションにおける専門知識
信頼できるメーカーとして、VET Energy はカスタム設計のグラファイト サセプターと炭化ケイ素コーティング ソリューションを専門としています。当社は、半導体および太陽光発電産業向けにカスタマイズされた以下の製品を提供しています。SiC コーティングされたグラファイト部品トレイ、プレート、カバーなど。コーティングオプションも豊富に取り揃えております。MOCVD用SiCコーティング, TaCコーティング, グラッシーカーボンコーティング、熱分解炭素コーティングにより、ハイテク産業のさまざまな需要を確実に満たします。
国内トップクラスの研究機関の専門家で構成された当社の経験豊富な技術チームは、お客様に包括的な材料ソリューションを提供します。当社は、炭化ケイ素コーティングとグラファイト基材の結合を強化し、剥離のリスクを軽減し、製品の寿命をさらに延ばす独自の特許技術など、高度なプロセスを継続的に改良しています。
半導体製造における用途と利点
のMOCVD用炭化ケイ素コーティングこれらのグラファイトサセプタは、高温の腐食環境において非常に効果的です。グラファイト ウェーハ キャリアまたは他の MOCVD コンポーネントとして使用される場合でも、これらの炭化ケイ素でコーティングされたサセプタは、優れた耐久性と性能を実証します。信頼性の高いソリューションを求めている方にとって、SiC コーティングされたグラファイトサセプターVET Energy の炭化ケイ素でコーティングされたグラファイト トレイ、プレート、カバーは、半導体業界の厳しい要求を満たす堅牢で多用途のオプションを提供します。
VET Energy は、先進的な材料科学に重点を置くことで、半導体プロセスの革新を推進し、すべての MOCVD 関連アプリケーションで信頼性の高いパフォーマンスを保証する、高性能の SiC コーティングされたグラファイト ソリューションを提供することに取り組んでいます。
VET Energy は、SiC コーティング、TaC コーティング、ガラス状炭素コーティング、熱分解炭素コーティングなどのさまざまなコーティングを施したカスタマイズされたグラファイトおよび炭化ケイ素製品の本物のメーカーであり、半導体および太陽光発電産業向けにさまざまなカスタマイズされた部品を供給できます。
当社の技術チームは国内トップクラスの研究機関から構成されており、より専門的な材料ソリューションを提供できます。
当社は、より高度な材料を提供するために高度なプロセスを開発し続けており、コーティングと基材の間の結合をより強固にし、剥離しにくくすることができる独自の特許技術を開発しました。
私たちの工場を訪問することを温かく歓迎します、さらなる議論をしましょう!