VET Energy SiC コーティングされたサセプタは、半導体製造の厳しい要求を満たし、長い寿命にわたって信頼性の高い一貫したパフォーマンスを提供するために細心の注意を払って作られた高性能ソリューションです。優れた耐熱性、優れた熱均一性、高純度を特徴とするこの製品は、MOCVD ウェハキャリアや安定性と精度が必要なその他のウェハ処理用途に最適です。堅牢な耐浸食性により、耐久性と化学的回復力が不可欠な環境にとって最高の選択肢となります。
私たちのSiC コーティングされたグラファイトサセプターは半導体製造プロセスの重要なコンポーネントとして機能し、VET Energy 独自の特許技術を活用して、極めて高い純度、優れたコーティング均一性、および優れた熱安定性を実現します。このコーティングにより、グラファイト基材の耐薬品性が向上し、耐用年数が大幅に延長されます。 VET Energy の品質へのこだわりの結果、グラファイト ウェーハ キャリア市場の進化するニーズを満たす SiC コーティング サセプタが誕生し、次の分野で使用される SiC コーティング グラファイト サセプタの高い基準を確立しました。MOCVDプロセス.
SiC コーティングされたサセプタの主な特徴:
1. 高温酸化耐性:最大 1700℃ の温度に耐えられるため、極端な加工条件に適しています。
2. 高純度および熱均一性:一貫した結果を保証します。MOCVDサセプタおよびその他の精密アプリケーション。
3.優れた耐食性:酸、アルカリ、塩、各種有機試薬に対して耐性があります。
4. 強化された表面硬度:緻密な表面と微細な粒子により、より高い耐久性と長寿命を実現します。
5.耐用年数の延長:パフォーマンスが持続するように設計されており、過酷な処理環境において標準的な炭化ケイ素でコーティングされたサセプタを上回ります。
大手メーカーとして、VET Energy はカスタマイズされたグラファイトと炭化ケイ素製品さまざまなコーティングオプションを備えています。SiCコーティング, TaCコーティング, グラッシーカーボンコーティング、熱分解炭素コーティング。当社は半導体および太陽光発電産業に誇りを持ってサービスを提供し、特定の運用要求を満たす炭化ケイ素でコーティングされたグラファイトサセプターを提供しています。
国内トップクラスの研究機関での経験を持つ当社の技術チームは、進化するニーズに応える材料ソリューションの進歩に専念しています。SiC コーティングされたグラファイトサセプター市場。 VET Energy は、特許取得済みのプロセスを通じて、炭化ケイ素コーティングと基板間の接着強度を大幅に向上させ、剥離のリスクを軽減し、長期信頼性を高める独自の技術を開発しました。
半導体加工における応用例と利点
のMOCVD用SiCコーティング可能にするグラファイトサセプター高温および腐食性の環境下でコンポーネントの完全性を維持するため、これは精密な半導体製造に不可欠です。これらの SiC コーティングされたグラファイトコンポーネントは、炭化ケイ素コーティングされたサセプターを必要とするプロセスで特に価値があります。グラファイトウェーハキャリア、高い熱安定性、純度、化学的侵食に対する耐性が求められます。
VET Energy は、高度な炭化ケイ素コーティング技術により、カスタマイズされた高性能の製品を提供することでグラファイト ウェーハ キャリア市場をサポートし続けます。SiC コーティングされたグラファイトサセプターMOCVD プロセスから半導体分野の高純度アプリケーションに至るまで、業界特有の課題に対処します。
私たちの工場を訪問することを温かく歓迎します、さらなる議論をしましょう！
