CVD SiC コーティングされたカーボン - カーボン複合材 CFC ボート金型

簡単な説明:

VET Energy SiC コーティングされた CFC ボート/モールドは、長期間にわたって一貫した信頼性の高いパフォーマンスを提供するように設計された高性能製品です。非常に優れた耐熱性と熱均一性、高純度、耐浸食性を備えており、ウェーハ処理用途に最適なソリューションです。


製品詳細

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製品説明

カーボン/カーボンコンポジット(以下「」といいます)C/CまたはCFC」)は、炭素をベースとし、炭素繊維およびその製品(炭素繊維プリフォーム)によって強化された複合材料の一種です。カーボンの慣性力とカーボン繊維の高強度を兼ね備えています。優れた機械的特性、耐熱性、耐食性、摩擦減衰、熱伝導性、導電性特性を備えています。

CVD-SiCコーティングは、均一な構造、緻密な材料​​、高温耐性、耐酸化性、高純度、酸およびアルカリ耐性、有機試薬の特性を備え、安定した物理的および化学的特性を備えています。

主な特徴:

1. 高温酸化耐性:1600℃もの高温でも耐酸化性は非常に良好です。
2. 高純度: 高温塩素化条件下での化学蒸着によって製造されます。
3.耐浸食性:高硬度、緻密な表面、微細な粒子。
4. 耐食性: 酸、アルカリ、塩および有機試薬。

CVD SiC膜の基本物理性能

CVD SiCの基本物性コーティング

性质 / プロパティ

代表値 / 代表値

結晶構造 / 結晶構造

FCC β 相多結晶、主に(111)取方向

密度 / 密度

3.21 g/cm3

硬度・硬さ

2500维度硬度(500g荷重)

結晶粒大 / 粒サイズ

2~10μm

品質 / 化学純度

99.99995%

熱容量 / 熱容量

640J・kg-1・K-1

昇华温度 / 昇華温度

2700℃

耐弯强度 / 曲げ強さ

415MPa RT 4点

杨氏模量 / ヤング率

430 Gpa 4pt曲げ、1300℃

导熱系数 / 熱伝導率

300W・m-1・K-1

熱膨張胀系数 / 熱膨張(CTE)

4.5×10-6K-1

1

2

VET Energy は、SiC コーティング、TaC コーティング、ガラス状炭素コーティング、熱分解炭素コーティングなどのさまざまなコーティングを施したカスタマイズされたグラファイトおよび炭化ケイ素製品の本物のメーカーであり、半導体および太陽光発電産業向けにさまざまなカスタマイズされた部品を供給できます。

当社の技術チームは国内トップクラスの研究機関から構成されており、より専門的な材料ソリューションを提供できます。

当社は、より高度な材料を提供するために高度なプロセスを開発し続けており、コーティングと基材の間の結合をより強固にし、剥離しにくくすることができる独自の特許技術を開発しました。

私たちの工場を訪問することを温かく歓迎します、さらなる議論をしましょう!

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