MOCVD基板ヒーター、MOCVD用発熱体

簡単な説明:

ケミカルグラファイト

利点: 高温耐性

用途:MOCVD/真空炉/ホットゾーン

かさ密度:1.68-1.91g/cm3

曲げ強度: 30-46Mpa

抵抗率:7-12μΩm

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製品詳細

製品タグ

MOCVD基板ヒーター、MOCVD用発熱体

グラファイトヒーター：
グラファイトヒーターコンポーネントは、真空環境では2200度、脱酸および挿入ガス環境では3000度に達する高温炉で使用されます。
グラファイトヒーターの主な特徴:
1. 加熱構造の均一性。
2. 良好な導電性と高い電気負荷。
3.耐食性。
4. 非酸化性。
5. 高い化学純度。
6. 高い機械的強度。
利点は、エネルギー効率が高く、価値が高く、メンテナンスが少ないことです。
酸化防止、長寿命の黒鉛るつぼ、黒鉛モールド、黒鉛ヒーターの全ての部品を生産できます。
グラファイトヒーターの主なパラメータ:

技術仕様	VET-M3
かさ密度 (g/cm3)	≥1.85
灰分含有量 (PPM)	≤500
ショア硬度	≥45
比抵抗(μ.Ω.m)	≤12
曲げ強さ(Mpa)	40以上
圧縮強度(Mpa)	70以上
最大。粒径(μm)	≤43
熱膨張係数 Mm/℃	≤4.4*10-6