PECVDグラファイトボートの洗浄方法は？| VETエネルギー

1. クリーニング前の確認

1) のときPECVDグラファイトボート/キャリアは100～150回以上使用されるため、オペレータはコーティング状態を適時にチェックする必要があります。異常な塗装がある場合は洗浄して確認する必要があります。グラファイトボート/キャリアのシリコンウェーハの通常のコーティング色は青色です。ウェハが青以外の場合、複数の色がある場合、またはウェハ間の色差が大きい場合、それは異常なコーティングであり、異常の原因を時間内に確認する必要があります。
2) プロセス担当者がコーティングの状態を分析した後、PECVDグラファイトボート/キャリアに問い合わせると、グラファイト ボートを清掃する必要があるかどうか、およびカード ポイントを交換する必要があるかどうかを判断し、清掃が必要なグラファイト ボート/キャリアは清掃のために機器担当者に引き渡されます。

 

3）その後グラファイトボート/キャリアが損傷している場合、生産担当者はグラファイトボート内のシリコンウェーハをすべて取り出し、CDA（圧縮空気）を使用してキャリア内の破片を選別します。グラファイトボート。完了後、装置担当者は、洗浄のために一定割合の HF 溶液が準備された酸タンクにそれを持ち上げます。

 

2. グラファイトボートの洗浄

15 ～ 25% のフッ化水素酸溶液を使用して、各 4 ～ 5 時間の 3 回の洗浄を行い、浸漬および洗浄プロセス中に定期的に窒素をバブリングして、約 30 分の洗浄を追加することをお勧めします。注: バブリング用のガス源として空気を直接使用することはお勧めできません。酸洗後は純水で約10時間洗浄し、ボートが十分に洗浄されていることを確認します。洗浄後は、ボートの表面、グラファイトカードポイントとボートシートの接合部、その他の部分に窒化ケイ素の残留物がないか確認してください。その後、要件に従って乾燥させます。

3. 清掃上の注意

A) HF 酸は腐食性が高く、ある程度の揮発性を持っているため、作業者にとって危険です。したがって、清掃ポストのオペレーターは安全対策を講じ、専任の担当者によって管理される必要があります。

B) 各接触部分をより徹底的に洗浄できるように、洗浄中はボートを分解し、グラファイト部分のみを洗浄することをお勧めします。現在、国内メーカーの多くは全体洗浄を採用しており便利ですが、HF酸はセラミック部品を腐食させるため、全体洗浄を行うと該当部品の寿命が短くなります。