CVD 炭化ケイ素コーティング MOCVD サセプタ

簡単な説明:

VET Energy SiC コーティング MOCVD サセプタは、長期間にわたって一貫した信頼性の高いパフォーマンスを提供するように設計された高性能製品です。非常に優れた耐熱性と熱均一性、高純度、耐浸食性を備えており、ウェーハ処理用途に最適なソリューションです。

 

 

 

 


  • 出身地:浙江省、中国 (本土)
  • モデル番号:ボート3002
  • 化学組成:SiCコーティングされたグラファイト
  • 電気抵抗率:11μΩm
  • ショア硬度: 58
  • 熱伝導率:116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)
  • サンプル:利用可能
  • HSコード:6903100000
  • ブランド名:獣医
  • 密度:1.85g/cm3
  • 曲げ強度:49MPa
  • 灰: <5ppm
  • 品質:完璧
  • 応用:半導体/太陽光発電
  • 製品詳細

    製品タグ

    VET エネルギーSiC コーティング MOCVD サセプタは、ウェーハ処理アプリケーションにおいて一貫した信頼性の高いパフォーマンスを実現するように設計された高性能製品です。優れた機能を搭載SiCコーティング、優れた耐熱性、熱均一性、耐食性を備えています。に最適MOCVD装置、 これ炭化ケイ素コーティングされたサセプター最適な状態を保証しますウエハース成長と機器の寿命の延長。

    サセプター

    製品の特徴:

    1. 1700℃までの高温耐酸化性: 当社の SiC コーティングは、最も要求の厳しい MOCVD 環境でも優れた熱安定性を提供します。

    2. 高純度、均熱性: 炭化ケイ素サセプターにより、不純物が最小限に抑えられ、ウェーハ全体の一貫した加熱が保証され、優れた結晶品質が保証されます。

    3. 優れた耐食性: 酸、アルカリ、塩、有機試薬に対する耐性があり、当社のサセプターはさまざまな化学環境において完全性を維持します。

    4. 高硬度、緻密な表面、微細な粒子:これらの特性により長寿命化と耐久性の向上に貢献します。

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    当社の CVD 炭化ケイ素コーティング製品の利点と用途

    MOCVD サセプタは、半導体製造において大きな利点をもたらします。 SiC コーティングはウェーハの品質を向上させ、欠陥を減らし、生産効率を最適化します。 VET Energy は、半導体および太陽光発電産業の特定のニーズに合わせた幅広い炭化ケイ素製品を供給しています。

     

    製品のカスタマイズと技術サポート

    炭化ケイ素およびグラファイト製品の大手メーカーとして、VET Energy は、SiC、TaC、ガラス状炭素、熱分解炭素などのさまざまなコーティングを使用したカスタマイズされたソリューションを提供しています。当社の経験豊富なチームは、お客様の特定のアプリケーションに対して専門的なガイダンスとサポートを提供します。

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