VET エネルギーSiC コーティング MOCVD サセプタは、ウェーハ処理アプリケーションにおいて一貫した信頼性の高いパフォーマンスを実現するように設計された高性能製品です。優れた機能を搭載SiCコーティング、優れた耐熱性、熱均一性、耐食性を備えています。に最適MOCVD装置、 これ炭化ケイ素コーティングされたサセプター最適な状態を保証しますウエハース成長と機器の寿命の延長。
製品の特徴:
1. 1700℃までの高温耐酸化性: 当社の SiC コーティングは、最も要求の厳しい MOCVD 環境でも優れた熱安定性を提供します。
2. 高純度、均熱性: 炭化ケイ素サセプターにより、不純物が最小限に抑えられ、ウェーハ全体の一貫した加熱が保証され、優れた結晶品質が保証されます。
3. 優れた耐食性: 酸、アルカリ、塩、有機試薬に対する耐性があり、当社のサセプターはさまざまな化学環境において完全性を維持します。
4. 高硬度、緻密な表面、微細な粒子:これらの特性により長寿命化と耐久性の向上に貢献します。
当社の CVD 炭化ケイ素コーティング製品の利点と用途
MOCVD サセプタは、半導体製造において大きな利点をもたらします。 SiC コーティングはウェーハの品質を向上させ、欠陥を減らし、生産効率を最適化します。 VET Energy は、半導体および太陽光発電産業の特定のニーズに合わせた幅広い炭化ケイ素製品を供給しています。
製品のカスタマイズと技術サポート
炭化ケイ素およびグラファイト製品の大手メーカーとして、VET Energy は、SiC、TaC、ガラス状炭素、熱分解炭素などのさまざまなコーティングを使用したカスタマイズされたソリューションを提供しています。当社の経験豊富なチームは、お客様の特定のアプリケーションに対して専門的なガイダンスとサポートを提供します。