SiC コーティングされたグラファイトベースキャリア

簡単な説明:

VET Energy の SiC コーティングされたグラファイト キャリアは、長期間にわたって一貫した信頼性の高いパフォーマンスを提供するように設計された高性能製品です。非常に優れた耐熱性と熱均一性、高純度、耐浸食性を備えており、ウェーハ処理用途に最適なソリューションです。


  • 原産地 :中国
  • 結晶構造:FCCβ相
  • 密度 :3.21g/cm
  • 硬度 :2500 ビッカース
  • 粒度 :2~10μm
  • 化学純度 :99.99995%
  • 熱容量:640J・kg-1・K-1
  • 昇華温度:2700℃
  • 感覚の強さ :415MPa(RT4点)
  • ヤング率 :430 Gpa (4pt曲げ、1300℃)
  • 熱膨張 (CTE) :4.5 10-6K-1
  • 熱伝導率 :300(W/MK)
  • 製品詳細

    製品タグ

    SiC コーティングされたグラファイトキャリアは、さまざまな半導体製造プロセスで使用される重要なコンポーネントです。当社は特許取得済みの技術を使用して、非常に高純度、良好なコーティング均一性、優れた耐用年数に加え、高い耐薬品性と熱安定性を備えた炭化ケイ素キャリアを製造しています。

    6

    当社製品の特徴:

    1. 1700℃までの高温耐酸化性。
    2. 高純度、均熱性
    3. 酸、アルカリ、塩、有機試薬に対する優れた耐食性。

    4. 高硬度、緻密な表面、微細な粒子。
    5. より長い耐用年数とより耐久性のある

    CVD SiC膜の基本物理性能

    CVD SiCの基本物性コーティング

    性质 / 財産

    典型的な数値 / 代表値

    結晶構造 / 結晶構造

    FCC βフェーズ多結晶、主である(111)取向

    密度 / 密度

    3.21 g/cm3

    硬度 / 硬度

    2500维度硬度(500g荷重)

    結晶粒大小 / 粒度

    2~10μm

    / 化学純度

    99.99995%

    熱容 / 熱容量

    640J・kg-1・K-1

    昇华温度 / 昇華温度

    2700℃

    抗强度 / 曲げ強度

    415MPa RT 4点

    杨氏模量 / ヤング率

    430 Gpa 4pt曲げ、1300℃

    导熱系数 / テルマ導電率

    300W・m-1・K-1

    熱膨張胀系数 / 熱膨張(CTE)

    4.5×10-6K-1

    1

    2

    VET Energy は、SiC コーティング、TaC コーティング、ガラス状炭素コーティング、熱分解炭素コーティングなどのさまざまなコーティングを施したカスタマイズされたグラファイトおよび炭化ケイ素製品の本物のメーカーであり、半導体および太陽光発電産業向けにさまざまなカスタマイズされた部品を供給できます。

    当社の技術チームは国内トップクラスの研究機関から来ており、より専門的な材料ソリューションを提供できます。

    当社は、より高度な材料を提供するために高度なプロセスを開発し続けており、コーティングと基材の間の結合をより強固にし、剥離しにくくすることができる独自の特許技術を開発しました。

    私たちの工場を訪問することを温かく歓迎します、さらなる議論をしましょう!

    研発团队

     

    生设备

     

    公司客户

     


  • 前の:
  • 次:

  • WhatsAppオンラインチャット!