半導体シリコンウェーハ、SiCコーティング用カスタマイズグラファイトヒーター

半導体シリコンウェーハ、SiCコーティング用カスタマイズグラファイトヒーター

簡単な説明:

技術仕様	VET-M3
かさ密度 (g/cm3)	≥1.85
灰分含有量 (PPM)	≤500
ショア硬度	≥45
比抵抗(μ.Ω.m)	≤12
曲げ強さ(Mpa)	40以上
圧縮強度(Mpa)	70以上
最大。粒径(μm)	≤43
熱膨張係数 Mm/℃	≤4.4*10-6

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製品詳細

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カスタマイズされた半導体シリコンウェーハ用グラファイトヒーター

技術仕様	VET-M3
かさ密度 (g/cm3)	≥1.85
灰分含有量 (PPM)	≤500
ショア硬度	≥45
比抵抗(μ.Ω.m)	≤12
曲げ強さ(Mpa)	40以上
圧縮強度(Mpa)	70以上
最大。粒径(μm)	≤43
熱膨張係数 Mm/℃	≤4.4*10-6

半導体シリコンウェーハ用カスタマイズグラファイトヒーター

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