Questo wafer SiC di tipo N da 6 pollici è progettato per prestazioni migliorate in condizioni estreme, rendendolo la scelta ideale per applicazioni che richiedono elevata potenza e resistenza alla temperatura. I prodotti chiave associati a questo wafer includono Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer e SiN Substrate. Questi materiali garantiscono prestazioni ottimali in una varietà di processi di produzione di semiconduttori, consentendo dispositivi efficienti dal punto di vista energetico e durevoli.
Per le aziende che lavorano con epi wafer, ossido di gallio Ga2O3, cassette o wafer AlN, il wafer SiC di tipo N da 6 pollici di VET Energy fornisce la base necessaria per lo sviluppo di prodotti innovativi. Che si tratti di elettronica ad alta potenza o della più recente tecnologia RF, questi wafer garantiscono un'eccellente conduttività e una resistenza termica minima, spingendo i limiti dell'efficienza e delle prestazioni.
SPECIFICHE DEL WAFER
*n-Pm=tipo n Grado Pm, n-Ps=tipo n Grado Ps, Sl=Semi-isolante
Articolo | 8 pollici | 6 pollici | 4 pollici | ||
nP | n-pm | n-Ps | SI | SI | |
TTV(GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
Arco(GF3YFCD)-Valore assoluto | ≤15μm | ≤15μm | ≤25μm | ≤15μm | |
Deformazione(GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
LTV(SBIR)-10mmx10mm | <2μm | ||||
Bordo del wafer | Smussatura |
FINITURA SUPERFICIALE
*n-Pm=tipo n Grado Pm, n-Ps=tipo n Grado Ps, Sl=Semi-isolante
Articolo | 8 pollici | 6 pollici | 4 pollici | ||
nP | n-pm | n-Ps | SI | SI | |
Finitura superficiale | Lucidatura ottica su doppio lato, Si-Face CMP | ||||
Rugosità superficiale | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0,2 nm | (5umx5um) Si-faccia Ra≤0,2 nm | |||
Chip di bordo | Nessuno consentito (lunghezza e larghezza ≥ 0,5 mm) | ||||
Rientri | Nessuno consentito | ||||
Graffi (Si-Face) | Qtà.≤5,cumulativo | Qtà.≤5,cumulativo | Qtà.≤5,cumulativo | ||
Crepe | Nessuno consentito | ||||
Esclusione dei bordi | 3 mm |