Supporto di rivestimento SiC Per RTP/RTA è un componente chiave utilizzato nei processi di produzione di semiconduttori chiamati Rapid Thermal Processing & Annealing, utilizziamo la nostra tecnologia brevettata per realizzare il supporto in carburo di silicio con purezza estremamente elevata, buona uniformità di rivestimento e un'eccellente durata, come nonché elevate proprietà di resistenza chimica e stabilità termica.
Caratteristiche dei nostri prodotti:
1. Resistenza all'ossidazione ad alta temperatura fino a 1700 ℃.
2. Elevata purezza e uniformità termica
3. Eccellente resistenza alla corrosione: acidi, alcali, sale e reagenti organici.
4. Elevata durezza, superficie compatta, particelle fini.
5. Durata di servizio più lunga e più durevole
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Proprietà fisiche di base del SiC CVDrivestimento | |
| 性质 / Proprietà | 典型数值 /Valore tipico |
| 晶体结构 / Struttura in cristallo | Fase β dell'FCC多晶,主要为（111）取向 |
| 密度 / Densità | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Durezza | 2500 tonnellate di carico (carico di 500 g) |
| 晶粒大小 / Granulometria | 2~10μm |
| 纯度 / Purezza chimica | 99,99995% |
| 热容 / Capacità termica | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 /Temperatura di sublimazione | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Resistenza alla flessione | 415 MPa RT a 4 punti |
| 杨氏模量 / Modulo di Young | Curvatura 4 punti 430 Gpa, 1300 ℃ |
| 导热系数 /TermelConduttività | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Dilatazione termica (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VET Energy è il vero produttore di prodotti personalizzati in grafite e carburo di silicio con diversi rivestimenti come rivestimento SiC, rivestimento TaC, rivestimento in carbonio vetroso, rivestimento in carbonio pirolitico, ecc., può fornire varie parti personalizzate per l'industria dei semiconduttori e fotovoltaica.
Il nostro team tecnico proviene dai migliori istituti di ricerca nazionali e può fornirti soluzioni materiali più professionali.
Sviluppiamo continuamente processi avanzati per fornire materiali sempre più avanzati e abbiamo elaborato un'esclusiva tecnologia brevettata, che può rendere il legame tra il rivestimento e il substrato più stretto e meno incline al distacco.
Un caloroso benvenuto a visitare la nostra fabbrica, disponiamo di ulteriori discussioni!
