Come pulire la barca in grafite PECVD？| Energia IFP

1. Conferma prima della pulizia

1) Quando ilBarca in grafite PECVD/carrier viene utilizzato più di 100-150 volte, l'operatore deve controllare in tempo le condizioni del rivestimento. Se è presente un rivestimento anomalo, è necessario pulirlo e confermarlo. Il normale colore del rivestimento del wafer di silicio nella barca/supporto in grafite è blu. Se il wafer presenta più colori non blu o la differenza di colore tra i wafer è ampia, si tratta di un rivestimento anomalo e la causa dell'anomalia deve essere confermata in tempo.
2) Dopo il processo, il personale analizza le condizioni del rivestimento delBarca in grafite PECVD/supporto, determineranno se la barca in grafite deve essere pulita e se la punta della carta deve essere sostituita, e la barca/supporto in grafite che deve essere pulita verrà consegnata al personale dell'attrezzatura per la pulizia.

 

3) Dopo ilbarca in grafite/carrier è danneggiato, il personale di produzione eliminerà tutti i wafer di silicio nella barchetta di grafite e utilizzerà CDA (aria compressa) per separare i frammenti nelbarca in grafite. Al termine, il personale addetto all'attrezzatura la solleverà nel serbatoio dell'acido che è stato preparato con una certa proporzione di soluzione HF per la pulizia.

 

2. Pulizia della barca in grafite

Si consiglia di utilizzare una soluzione di acido fluoridrico al 15-25% per tre cicli di pulizia, ciascuno per 4-5 ore, e di far periodicamente bollire azoto durante il processo di ammollo e pulizia, aggiungendo circa mezz'ora di pulizia; nota: non è consigliabile utilizzare direttamente l'aria come fonte di gas per il gorgogliamento. Dopo il decapaggio, sciacquare con acqua pura per circa 10 ore e verificare che la barca sia stata accuratamente pulita. Dopo la pulizia, controllare la superficie della barca, la punta della scheda in grafite, il giunto della lamiera della barca e altre parti per vedere se sono presenti residui di nitruro di silicio. Quindi asciugare secondo le esigenze.

3. Precauzioni per la pulizia

R) Poiché l'acido HF è una sostanza altamente corrosiva e presenta una certa volatilità, è pericoloso per gli operatori. Pertanto, gli operatori del posto di pulizia devono adottare precauzioni di sicurezza ed essere gestiti da una persona dedicata.

B) Si consiglia di smontare la barca e pulire solo la parte in grafite durante la pulizia, in modo che ogni parte di contatto possa essere pulita più a fondo. Attualmente, molti produttori nazionali utilizzano la pulizia generale, il che è conveniente, ma poiché l'acido HF è corrosivo per le parti in ceramica, la pulizia complessiva ridurrà la durata delle parti corrispondenti.