Ụgwọ nke ụlọ ọrụ VET EnergySilicon Carbide mkpuchi ihe eserese eserese, Plate, na Cover bụ injinia iji wepụta arụmọrụ dị elu, na-enye ọrụ a pụrụ ịdabere na ya na nke na-agbanwe agbanwe karịa iji ogologo oge, na-eme ka ọ bụrụ nhọrọ dị mkpa maka ngwa nhazi wafer na ụlọ ọrụ semiconductor. Nke a dị elu-arụmọrụSilicon Carbide mkpuchi graphite eferena-anya isi nkwụsi ike okpomọkụ, ịdị n'otu okpomọkụ dị elu, yana nkwụsi ike kemịkalụ pụtara ìhè, ọkachasị n'ọnọdụ okpomọkụ dị elu. Ihe owuwu ya dị oke ọcha, yana nguzogide mbuze, na-eme ka ọ dị mkpa maka gburugburu ebe na-achọsi ike dị ka.MOCVD susceptors.
Akụkụ bụ isi nke Silicon Carbide mkpuchi ihe eserese, efere, na mkpuchi
1. Nguzogide Oxidation dị elu:Na-eguzogide okpomọkụ ruo 1700 ℃, na-enyere ya aka ịrụ ọrụ nke ọma na ọnọdụ dị oke egwu.
2. Ịdị ọcha dị elu na ịdị n'otu okpomọkụ:Ịdị ọcha dị elu na-agbanwe agbanwe na ọbụna nkesa okpomọkụ dị oke mkpa maka ngwa MOCVD.
3. Nguzogide nrụrụ pụrụiche:Na-eguzogide acid, alkalis, salts, na organic reagents dị iche iche, na-ahụ nkwụsi ike ogologo oge na gburugburu ebe dị iche iche.
4. Elu ike na kọmpat n'elu:Na-egosipụta oke elu nwere ezigbo irighiri ihe, na-eme ka ike zuru oke na iguzogide iyi.
5. Ogologo oge ije ozi:Emepụtara ya maka ogologo ndụ, na-arụ ọrụ nke ọmaihe mkpuchi graphite nwere silicon carbidena gburugburu ebe nhazi semiconductor siri ike.
CVD SiC薄膜基本物理性能 Njirimara anụ ahụ bụ isi nke CVD SiCmkpuchi | |
性质 / Ihe onwunwe | 典型数值 / Uru a na-ahụkarị |
晶体结构 / Crystal Structure | FCC β oge多晶,主要为(111) 取向 |
密度 / Njupụta | 3.21g/cm³ |
硬度 / Isi ike | 2500 维氏硬度 (ibu 500g) |
晶粒大小 / ọka SiZe | 2 ~ 10μm |
纯度 / Chemical ịdị ọcha | 99.99995% |
热容 / Okpomọkụ Ike | 640 nk-1· K-1 |
升华温度 / Sublimation okpomọkụ | 2700 ℃ |
抗弯强度 / Ike Flexural | 415 MPa RT 4-isi |
杨氏模量 Modul nke Young's | 430 Gpa 4pt ekwe, 1300 ℃ |
导热系数 / ThermalOmume omume | 300W·m-1· K-1 |
热膨胀系数 Mgbasawanye okpomọkụ (CTE) | 4.5 × 10-6K-1 |
Ọkachamara VET Energy na Graphite ahaziri na Ngwọta Silicon Carbide
Dị ka onye nrụpụta ntụkwasị obi, VET Energy bụ ọkachamara n'ichepụta graphite susceptors na ngwọta mkpuchi silicon carbide. Anyị na-enye ngwaahịa dị iche iche ahaziri maka semiconductor na ụlọ ọrụ fotovoltaic, gụnyereAkụkụ graphite nwere mkpuchi SiCdị ka trays, efere, na mkpuchi. Ahịrị ngwaahịa anyị tinyekwara nhọrọ mkpuchi dị iche iche, dịkaIhe mkpuchi SiC maka MOCVD, Mkpuchi TaC, enyo mkpuchi carbon, na mkpuchi carbon pyrolytic, na-ahụ na anyị na-egbo mkpa dị iche iche nke ụlọ ọrụ teknụzụ dị elu.
Ndị otu ọkachamara anyị nwere ahụmahụ, gụnyere ndị ọkachamara sitere na ụlọ ọrụ nyocha ụlọ, na-enye ngwọta ihe ngwọta zuru oke maka ndị ahịa. Anyị na-emeziwanye usoro anyị dị elu, gụnyere teknụzụ nwere ikike pụrụiche nke na-eme ka njikọ dị n'etiti mkpuchi silicon carbide na mkpụrụ graphite, na-ebelata ihe ize ndụ nke ikewapụ na ịgbatị ndụ ngwaahịa ahụ.
Ngwa na uru na nrụpụta Semiconductor
NkeMkpuchi Silicon Carbide maka MOCVDna-eme ka ndị na-ahụ maka graphite ndị a dị irè na oke okpomọkụ, gburugburu gburugburu. Ma ejiri ya dị ka ndị na-ebu graphite wafer ma ọ bụ ihe ndị ọzọ MOCVD, ihe mkpuchi silicon carbide ndị a na-egosipụta ogologo ndụ na arụmọrụ dị elu. Maka ndị na-achọ ngwọta a pụrụ ịdabere na ya naSusceptor graphite nwere mkpuchi SiCahịa, VET Energy's silicon carbide-conated graphite tray, efere, na mkpuchi na-enye nhọrọ siri ike na nke na-egbo mkpa siri ike nke ụlọ ọrụ semiconductor.
Site n'ilekwasị anya na sayensị ihe onwunwe dị elu, VET Energy na-agba mbọ na-ebuga ngwọta graphite nwere mkpuchi SiC dị elu nke na-eme ka mmepụta ihe ọhụrụ na nhazi semiconductor ma hụ na arụmọrụ a pụrụ ịdabere na ya na ngwa niile metụtara MOCVD.
VET Energy bụ ezigbo onye nrụpụta nke ngwaahịa graphite ahaziri na ngwaahịa silicon carbide nwere mkpuchi dị iche iche dị ka mkpuchi SiC, mkpuchi TaC, mkpuchi carbon glassy, mkpuchi carbon pyrolytic, wdg, nwere ike ịnye akụkụ dị iche iche ahaziri maka semiconductor na ụlọ ọrụ fotovoltaic.
Anyị ọrụ otu si n'elu ụlọ nnyocha ụlọ ọrụ, nwere ike na-enye ndị ọzọ ọkachamara ihe ngwọta maka gị.
Anyị na-aga n'ihu na-emepụta usoro dị elu iji nye ihe ndị dị elu karị, ma rụọ ọrụ nkà na ụzụ pụrụ iche, nke nwere ike ime ka njikọ dị n'etiti mkpuchi na mkpụrụ ahụ sie ike ma ghara ịdị na-apụ apụ.
Ji obi ụtọ nabata gị ileta ụlọ ọrụ anyị, ka anyị nwee mkparịta ụka ọzọ!