Otu esi ehicha ụgbọ mmiri graphite PECVD?| Ụgwọ nke ụlọ ọrụ VET Energy

1. Nkwenye tupu ihicha

1) MgbeỤgbọ mmiri graphite PECVD/ A na-eji ụgbọelu eme ihe karịa 100 ruo 150 ugboro, onye ọrụ ahụ kwesịrị ịlele ọnọdụ mkpuchi n'oge. Ọ bụrụ na enwere mkpuchi na-adịghị mma, ọ dị mkpa ka ihicha ya ma kwado ya. Agba mkpuchi nkịtị nke silicon wafer na graphite ụgbọ mmiri / ebu bụ acha anụnụ anụnụ. Ọ bụrụ na wafer ahụ nwere ihe na-adịghị na-acha anụnụ anụnụ, ọtụtụ agba, ma ọ bụ ọdịiche dị n'etiti wafers dị ukwuu, ọ bụ ihe mkpuchi na-adịghị mma, na ihe kpatara nsogbu ahụ kwesịrị ka ekwenye na oge.
2) Mgbe ndị ọrụ usoro nyochachara ọnọdụ mkpuchi nkeỤgbọ mmiri graphite PECVD/ onye na-ebu, ha ga-ekpebi ma ụgbọ mmiri graphite kwesịrị ihicha ma ọ bụrụ na ọ dị mkpa ka edochie ebe kaadị, na ụgbọ mmiri / ụgbọelu graphite nke kwesịrị ịdị ọcha ga-enyefe ndị ọrụ akụrụngwa maka nhicha.

 

3) Mgbe emecharaụgbọ mmiri graphite/ ụgbọelu mebiri emebi, ndị na-emepụta ihe ga-ewepụ ihe niile silicon wafers na graphite ụgbọ mmiri na-eji CDA (mkpakọ ikuku) iji dozie mpekere ndị dị na.ụgbọ mmiri graphite. Mgbe emechara, ndị ọrụ akụrụngwa ga-ebuli ya n'ime tankị acid nke ejiri akụkụ ụfọdụ nke ngwọta HF kwadebere maka nhicha.

 

2. Nhicha nke ụgbọ mmiri graphite

A na-atụ aro ka iji 15-25% hydrofluoric acid ngwọta maka nhazi atọ nke ihicha, nke ọ bụla maka awa 4-5, na oge na-agbapụta nitrogen n'oge ncha na nhicha, na-agbakwunye ihe dị ka ọkara awa nke nhicha; mara: A naghị atụ aro ka iji ikuku ozugbo dị ka isi iyi gas maka ịfụ. Mgbe ịchachara, kpochaa ya na mmiri dị ọcha maka ihe dị ka awa 10, ma gosi na ekpochaala ụgbọ mmiri ahụ nke ọma. Mgbe ihichachara, biko lelee elu ụgbọ mmiri ahụ, ebe kaadị graphite na njikọ mpempe akwụkwọ ụgbọ mmiri, na akụkụ ndị ọzọ iji hụ ma ọ dị ihe fọdụrụ na silicon nitride. Mgbe ahụ, kpoo dị ka achọrọ.

3. kpachara anya ihicha

A) Ebe ọ bụ na HF acid bụ ihe na-emebi emebi ma nwee mgbanwe ụfọdụ, ọ dị ize ndụ nye ndị ọrụ. Ya mere, ndị na-arụ ọrụ na ebe a na-ehicha ihe ga-enwerịrị nlezianya nchekwa yana onye raara onwe ya nye jikwaa ya.

B) A na-atụ aro ịkwanye ụgbọ mmiri ahụ ma hichaa naanị akụkụ graphite n'oge nhicha, ka akụkụ kọntaktị ọ bụla wee nwee ike ihicha nke ọma. Ka ọ dị ugbu a, ọtụtụ ndị na-emepụta ụlọ na-eji ihicha n'ozuzu, nke dị mma, ma n'ihi na HF acid na-emebi akụkụ seramiiki, nhicha zuru ezu ga-ebelata ndụ ọrụ nke akụkụ ndị kwekọrọ.