Nke mbụ, anyị kwesịrị ịmaPECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). Plasma bụ mmụba nke mmegharị ọkụ nke ụmụ irighiri ihe. Nkukota dị n'etiti ha ga-eme ka ụmụ irighiri gas na-eme ka ionized, ihe ahụ ga-aghọkwa ngwakọta nke ion dị mma na-emegharị onwe ya, electrons na ihe ndị na-anọpụ iche na-emekọrịta ihe.
A na-eme atụmatụ na nhụsianya ọnwụ nke ọkụ n'elu silicon dị elu dị ka 35%. Ihe nkiri na-emegide echiche nwere ike ime ka ọnụọgụ ọkụ nke anyanwụ dịkwuo mma site na batrị batrị, nke na-enyere aka ịbawanye njupụta nke foto na-emepụta ugbu a ma si otú a mee ka nrụpụta ntụgharị. N'otu oge ahụ, hydrogen dị na ihe nkiri ahụ na-agafe n'elu cell batrị, na-ebelata ọnụ ọgụgụ nchịkọta elu nke nkwụsị nke emitter, na-ebelata ọchịchịrị ugbu a, na-eme ka voltaji na-emeghe oghere, na-eme ka ọrụ ntụgharị fotoelectric dịkwuo mma. Igwe ọkụ na-ekpo ọkụ ozugbo na usoro ọkụ na-agbaji ụfọdụ njikọ Si-H na NH, na H a tọhapụrụ na-ewusi ike ngafe nke batrị ahụ.
Ebe ọ bụ na ihe silicon-ọkwa fotovoltaic na-apụghị izere ezere nwere nnukwu adịghị ọcha na ntụpọ, obere ndị na-ebu ogologo ndụ na ogologo mgbasa na silicon na-ebelata, na-ebute mbelata na ngbanwe nke batrị. H nwere ike imeghachi omume site na ntụpọ ma ọ bụ adịghị ọcha na silicon, si otú a na-ebufe eriri ike dị na bandgap n'ime band valence ma ọ bụ conduction band.
1. Ụkpụrụ PECVD
Usoro PECVD bụ usoro nke ndị na-emepụta ihe na-ejiỤgbọ mmiri graphite PECVD na ihe na-akpali akpali nke plasma dị elu. A na-etinye onye na-emepụta plasma ozugbo n'etiti efere mkpuchi iji meghachi omume n'okpuru nrụgide dị ala na elu okpomọkụ. Gases na-arụ ọrụ bụ silane SiH4 na amonia NH3. Gasị ndị a na-arụ ọrụ na silicon nitride echekwara na wafer silicon. Enwere ike nweta indices refractive dị iche iche site n'ịgbanwe nha nke silane na amonia. N'oge usoro ntinye ego, a na-emepụta nnukwu ọnụọgụ hydrogen na ion hydrogen, na-eme ka ikuku hydrogen nke wafer dị mma. N'ime oghere na ọnọdụ okpomọkụ dị ogo Celsius 480, a na-ekpuchi oyi akwa SixNy n'elu wafer silicon site na-eduziỤgbọ mmiri graphite PECVD.
3SiH4+4NH3 → Si3N4+12H2
2. Si3N4
Agba nke ihe nkiri Si3N4 na-agbanwe na ọkpụrụkpụ ya. N'ozuzu, ezigbo ọkpụrụkpụ dị n'etiti 75 na 80 nm, nke na-egosi na-acha anụnụ anụnụ. Ntụgharị ntụgharị nke ihe nkiri Si3N4 kacha mma n'etiti 2.0 na 2.5. A na-ejikarị mmanya na-aba n'anya tụọ ntụzịaka ntugharị ya.
Mmetụta ngafe elu dị mma, arụmọrụ ngwa anya na-egbochi ntụgharị uche nke ọma (ntụgharị nha nha nha nha), usoro okpomọkụ dị ala (na-ebelata ụgwọ ọrụ nke ọma), yana ion H emepụtara na-agafe elu elu silicon wafer.
3. Okwu nkịtị na mkpuchi ogbako
Ọkpụrụkpụ ihe nkiri:
Oge nkwụnye ego dị iche iche maka ọkpụrụkpụ ihe nkiri dị iche iche. Oge nkwụnye ego kwesịrị ịbawanye ma ọ bụ belata nke ọma dịka agba nke mkpuchi ahụ si dị. Ọ bụrụ na ihe nkiri ahụ na-acha ọcha, a ga-ebelata oge nkwụnye ego. Ọ bụrụ na ọ na-acha ọbara ọbara, ekwesịrị ịbawanye ya nke ọma. Ụgbọ mmiri ọ bụla nke ihe nkiri kwesịrị ikwenye n'ụzọ zuru ezu, na ngwaahịa ndị na-adịghị mma anaghị ekwe ka ha banye na usoro ọzọ. Dịka ọmụmaatụ, ọ bụrụ na mkpuchi ahụ adịghị mma, dị ka ntụpọ agba na akara mmiri, a ga-ahọrọ ihe ndị na-acha ọcha n'elu, ọdịiche agba, na ntụpọ ọcha na akara mmepụta n'oge. Ọcha nke elu na-abụkarị ihe nkiri silicon nitride siri ike, nke enwere ike gbanwee site na ịhazi oge ntinye ihe nkiri; A na-ebute ihe nkiri dị iche iche nke agba site na nkwụsị ụzọ gas, nkwụsị nke quartz tube, ọdịda ngwa ndakwa nri, wdg; Ọkpụkpụ ọcha na-abụkarị site na obere ntụpọ ojii na usoro gara aga. Nleba anya nke reflectivity, refractive index, wdg, nchekwa nke gas pụrụ iche, wdg.
Ọcha tụrụ n'elu:
PECVD bụ usoro dị oke mkpa na mkpụrụ ndụ anyanwụ yana ihe dị mkpa na-egosi arụmọrụ nke sel anyanwụ nke ụlọ ọrụ. Usoro PECVD na-ejikarị ọrụ n'aka, na ekwesịrị ileba anya n'ogbe nke mkpụrụ ndụ ọ bụla. Enwere ọtụtụ ọkpọkọ ọkụ mkpuchi mkpuchi, na tube ọ bụla n'ozuzu nwere ọtụtụ narị sel (dabere na akụrụngwa). Mgbe agbanwechara usoro usoro, okirikiri nkwenye dị ogologo. Nkà na ụzụ mkpuchi mkpuchi bụ nkà na ụzụ nke ụlọ ọrụ fotovoltaic dum na-etinye aka na ya. Enwere ike imeziwanye arụmọrụ nke mkpụrụ ndụ anyanwụ site na ịkwalite teknụzụ mkpuchi. N'ọdịnihu, nkà na ụzụ elu nke anyanwụ nwere ike ịghọ ọganihu na nhazi usoro nke mkpụrụ ndụ anyanwụ.
Oge nzipu: Dec-23-2024