Szilícium-karbid bevonatú grafittálca lemez és fedél

Szilícium-karbid bevonatú grafittálca lemez és borító Kiemelt kép

Rövid leírás:

A VET Energy szilícium-karbid bevonatú grafitlemez és burkolat egy nagy teljesítményű termék, amelyet úgy terveztek, hogy egyenletes és megbízható teljesítményt nyújtson hosszabb ideig. Szuper jó hőállósággal és termikus egyenletességgel, nagy tisztasággal, erózióállósággal rendelkezik, így tökéletes megoldás az ostyafeldolgozási alkalmazásokhoz.

Küldjön e-mailt nekünk Letöltés PDF formátumban

Termék részletek

Termékcímkék

VET EnergySzilícium-karbid bevonatú grafittálcaA lemezt és a burkolatot úgy tervezték, hogy csúcsteljesítményt nyújtson, megbízható és egyenletes működést biztosítson hosszú használat során, így elengedhetetlen választás a félvezetőipar szeletfeldolgozási alkalmazásaihoz. Ez a nagy teljesítménySzilícium-karbid bevonatú grafitlemezkivételes hőállósággal, kiváló termikus egyenletességgel és kiemelkedő kémiai stabilitással büszkélkedhet, különösen magas hőmérsékleti körülmények között. Nagy tisztaságú konstrukciója fejlett erózióállósággal párosulva nélkülözhetetlenné teszi olyan igényes környezetben, mint pl.MOCVD szuszceptorok.

A szilícium-karbid bevonatú grafittálca, -lemez és -fedél főbb jellemzői

1. Magas hőmérsékletű oxidációval szembeni ellenállás:Akár 1700 ℃ hőmérsékletet is bír, így extrém körülmények között is megbízhatóan működik.

2. Nagy tisztaságú és termikus egységesség:Az állandó nagy tisztaság és az egyenletes hőeloszlás döntő fontosságú a MOCVD alkalmazásokban.

3. Kivételes korrózióállóság:Ellenáll savaknak, lúgoknak, sóknak és különféle szerves reagenseknek, hosszú távú stabilitást biztosítva változatos környezetben.

4. Nagy keménységű és kompakt felület:Finom részecskéket tartalmazó sűrű felülettel rendelkezik, ami javítja az általános tartósságot és a kopásállóságot.

5. Meghosszabbított élettartam:A hosszú élettartamra tervezték, felülmúlja a hagyományos teljesítménytszilícium-karbid bevonatú grafit szuszceptorokdurva félvezető feldolgozási környezetben.

CVD SiC薄膜基本物理性能 A CVD SiC alapvető fizikai tulajdonságaibevonat
性质 / Ingatlan	典型数值 / Tipikus érték
晶体结构 / Kristályszerkezet	FCC β fázis多晶，主要为（111）取向
密度 / Sűrűség	3,21 g/cm³
硬度 / Keménység	2500 维氏硬度 (500 g-os töltet)
晶粒大小 / Grain Size	2-10 μm
纯度 / Kémiai tisztaság	99,99995%
热容 / Hőteljesítmény	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Szublimációs hőmérséklet	2700 ℃
抗弯强度 / Hajlítóerő	415 MPa RT 4 pontos
杨氏模量 / Young's Modulus	430 Gpa 4pt kanyar, 1300 ℃
导热系数 / ThermalVezetőképesség	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Hőtágulás (CTE)	4,5×10^-6K^-1

A VET Energy egyedi grafit- és szilícium-karbid-megoldások terén szerzett szakértelme

Megbízható gyártóként a VET Energy egyedi tervezésű grafit szuszceptorokra és szilícium-karbid bevonat megoldásokra specializálódott. Termékeink széles választékát kínáljuk a félvezető- és a fotovoltaikus ipar számára, beleértveSiC bevonatú grafit alkatrészekmint a tálcák, tányérok és fedők. Termékkínálatunkban változatos bevonási lehetőségek is szerepelnek, mint plSiC bevonat MOCVD-hez, TaC bevonat, üveges karbon bevonat, és pirolitikus szénbevonat, amely biztosítja, hogy megfeleljünk a csúcstechnológiás iparágak változó igényeinek.

Tapasztalt, hazai kutatóintézetek szakembereiből álló műszaki csapatunk átfogó anyagi megoldásokat kínál ügyfeleinek. Folyamatosan finomítjuk fejlett eljárásainkat, beleértve az exkluzív szabadalmaztatott technológiát, amely javítja a szilícium-karbid bevonat és a grafithordozó közötti kötést, csökkentve a leválás kockázatát és tovább növelve a termék élettartamát.

Alkalmazások és előnyök a félvezetőgyártásban

ASzilícium-karbid bevonat MOCVD-hezrendkívül hatékonyvá teszi ezeket a grafit szuszceptorokat magas hőmérsékletű, korrozív környezetben. Akár grafit lapkahordozóként, akár más MOCVD-komponensként használják, ezek a szilícium-karbid bevonatú szuszceptorok kiváló tartósságot és teljesítményt mutatnak. Azoknak, akik megbízható megoldásokat keresnek aSiC bevonatú grafit szuszceptorpiacon, a VET Energy szilícium-karbid bevonatú grafittálcája, lemeze és fedele robusztus és sokoldalú lehetőséget kínál, amely megfelel a félvezetőipar szigorú követelményeinek.

A fejlett anyagtudományra összpontosítva a VET Energy elkötelezte magát a nagy teljesítményű SiC bevonatú grafitmegoldások mellett, amelyek ösztönzik a félvezető-feldolgozás innovációját, és megbízható teljesítményt biztosítanak minden MOCVD-vel kapcsolatos alkalmazásban.

A VET Energy a személyre szabott grafit és szilícium-karbid termékek valódi gyártója különböző bevonatokkal, például SiC bevonattal, TaC bevonattal, üveges szénbevonattal, pirolitikus szénbevonattal stb., Különféle testreszabott alkatrészeket szállíthat a félvezető- és fotovoltaikus ipar számára.

Technikai csapatunk a legjobb hazai kutatóintézetekből érkezik, professzionálisabb anyagmegoldásokat tud nyújtani Önnek.

Folyamatosan fejlesztünk fejlett eljárásokat, hogy még fejlettebb anyagokat biztosítsunk, és kidolgoztunk egy exkluzív, szabadalmaztatott technológiát, amely szorosabbá és kevésbé leválóvá teheti a bevonat és az aljzat közötti kötést.

Szeretettel üdvözöljük, hogy látogassa meg gyárunkat, beszéljünk tovább!