Hogyan tisztítsuk meg a PECVD grafitcsónakot？| VET Energy

1. Tisztítás előtti nyugtázás

1) Amikor aPECVD grafit csónakA /carrier-t több mint 100-150 alkalommal használják, a kezelőnek időben ellenőriznie kell a bevonat állapotát. Ha rendellenes bevonat van, azt meg kell tisztítani és meg kell erősíteni. A grafit csónakban/hordozóban lévő szilícium ostya normál bevonatszíne kék. Ha az ostya nem kék, több színű, vagy nagy a színkülönbség az ostyák között, akkor kóros bevonatról van szó, és a rendellenesség okát időben ellenőrizni kell.
2) A folyamat után a személyzet elemzi a bevonat állapotátPECVD grafit csónak/fuvarozó, meg fogják határozni, hogy a grafitcsónak tisztításra szorul-e és a kártyapont cseréje szükséges-e, illetve a tisztításra szoruló grafitcsónakot/hordozót átadják a berendezés személyzetének tisztításra.

 

3) Miután agrafit csónak/hordozó megsérült, a gyártó személyzet kiszedi az összes szilícium ostyát a grafit csónakból, és CDA (sűrített levegő) segítségével kiválogatja a töredékeket agrafit csónak. Befejezés után a berendezés személyzete beemeli a savtartályba, amelyet bizonyos arányú HF oldattal előkészítettek a tisztításhoz.

 

2. Grafitos csónak tisztítása

Javasoljuk, hogy 15-25%-os hidrogén-fluorid-oldatot használjon három tisztítási körben, egyenként 4-5 órán keresztül, és az áztatási és tisztítási folyamat során időszakonként nitrogént buborékoltatva, kb. fél órás tisztítás hozzáadásával; Megjegyzés: nem ajánlott közvetlenül levegőt használni gázforrásként a buborékoláshoz. Pácolás után öblítse le tiszta vízzel körülbelül 10 órán keresztül, és ellenőrizze, hogy a csónakot alaposan megtisztította-e. Tisztítás után ellenőrizze a csónak felületét, a grafitkártya-pontot és a csónaklap illesztését, valamint a többi alkatrészt, hogy nincs-e szilícium-nitrid-maradvány. Ezután szárítsa meg a követelményeknek megfelelően.

3. Tisztítási óvintézkedések

A) Mivel a HF-sav erősen korrozív anyag, és bizonyos illékonysága van, veszélyes a kezelőkre. Ezért a tisztítóhely kezelőinek biztonsági óvintézkedéseket kell tenniük, és egy erre kijelölt személynek kell irányítania őket.

B) Javasoljuk, hogy a csónakot szétszerelje és csak a grafit részét tisztítsa meg a tisztítás során, így minden érintkező rész alaposabban tisztítható. Jelenleg sok hazai gyártó általános tisztítást alkalmaz, ami kényelmes, de mivel a HF-sav maró hatású a kerámia alkatrészekre, az általános tisztítás lerövidíti a megfelelő alkatrészek élettartamát.