Szilícium-karbid bevonatú grafit szubsztrát félvezetőhöz, MOCVD szuszceptorhoz

Rövid leírás:

A VET Energy SiC Coated Susceptor egy nagy teljesítményű termék, amelyet úgy terveztek, hogy egyenletes és megbízható teljesítményt nyújtson hosszabb ideig. Szuper jó hőállósággal és termikus egyenletességgel, nagy tisztasággal, erózióállósággal rendelkezik, így tökéletes megoldás az ostyafeldolgozási alkalmazásokhoz.

Származási hely:Zhejiang, Kína (szárazföld)

Modellszám:Modellszám:

Kémiai összetétel:SiC bevonatú grafit

Hajlító szilárdság:470 MPa

Hővezetőképesség:300 W/mK

Minőség:Tökéletes

Funkció:CVD-SiC

Alkalmazás:Félvezető /Fényelemes

Sűrűség:3,21 g/cc

Hőtágulás:4 10-6/K

Hamu: <5 ppm

Minta:Elérhető

HS kód:6903100000

Küldjön e-mailt nekünk Letöltés PDF formátumban

Termék részletek

Termékcímkék

VET Energy SiC bevonatú szuszceptoregy nagy teljesítményű megoldás, amelyet aprólékosan kidolgoztak, hogy megbízható, egyenletes teljesítményt nyújtson meghosszabbított élettartamon keresztül, megfelelve a félvezetőgyártás szigorú követelményeinek. Kivételes hőállóságával, kiváló termikus egyenletességével és nagy tisztaságával ez a termék ideális MOCVD lapkahordozókhoz és egyéb, stabilitást és pontosságot igénylő ostyafeldolgozási alkalmazásokhoz. Robusztus erózióállósága prémium választássá teszi olyan környezetekben, ahol a tartósság és a vegyszerállóság elengedhetetlen.

A miénkSiC bevonatú grafit szuszceptorA félvezető gyártási folyamat kritikus összetevője, kihasználva a VET Energy exkluzív, szabadalmaztatott technológiáját a rendkívül magas tisztaság, a kiváló bevonategyenletesség és a figyelemre méltó termikus stabilitás elérése érdekében. A bevonat nagy vegyszerállósággal és jelentősen meghosszabbított élettartammal javítja a grafit szubsztrátumot. A VET Energy minőség iránti elkötelezettsége egy olyan SiC bevonatú szuszceptort eredményezett, amely megfelel a grafit lapkahordozó piac változó igényeinek, és magas színvonalat állít fel a SiC bevonatú grafit szuszceptorok számáraMOCVD folyamatok.

A SiC bevonatú szuszceptorok főbb jellemzői:

1. Magas hőmérsékletű oxidációval szembeni ellenállás:Akár 1700 ℃ hőmérsékletet is bír, így alkalmas extrém feldolgozási körülményekre is.

2. Nagy tisztaságú és termikus egységesség:Konzisztens eredményeket biztosít, létfontosságúMOCVD szuszceptorokés egyéb precíziós alkalmazások.

3. Kiváló korrózióállóság:Savakkal, lúgokkal, sóval és különféle szerves reagensekkel szemben ellenálló.

4. Fokozott felületi keménység:Kompakt felület finom részecskékkel, amelyek nagyobb tartósságot és hosszú élettartamot biztosítanak.

5. Meghosszabbított élettartam:Tartós teljesítményre tervezték, felülmúlva a szabványos szilícium-karbid bevonatú szuszceptorokat kemény feldolgozási körülmények között.

Vezető gyártóként a VET Energy az egyedi grafit- ésszilícium-karbid termékekkülönféle bevonatolási lehetőségekkel, beleértveSiC bevonat, TaC bevonat, üveges karbon bevonatés pirolitikus szénbevonat. Büszkén szolgáljuk ki a félvezető- és fotovoltaikus ipart, olyan szilícium-karbid bevonatú grafit szuszceptorokat szállítunk, amelyek megfelelnek az egyedi üzemeltetési igényeknek.

Technikai csapatunk a hazai kutatóintézetek tapasztalataival rendelkezik, és elkötelezett az anyagi megoldások fejlesztése iránt a változó igények kielégítésére.SiC bevonatú grafit szuszceptorpiac. Szabadalmaztatott eljárásunk révén a VET Energy egyedülálló technológiát fejlesztett ki, amely jelentősen javítja a szilícium-karbid bevonat és az aljzat közötti kötési szilárdságot, csökkenti a leválás kockázatát és növeli a hosszú távú megbízhatóságot.

Alkalmazások és előnyök a félvezető feldolgozásban

ASiC bevonat MOCVD-hezlehetővé teszigrafit szuszceptoralkatrészek az integritás megőrzéséhez magas hőmérsékleten és korrozív környezetben, ami létfontosságú a precíziós félvezetőgyártáshoz. Ezeket a SiC bevonatú grafit alkatrészeket különösen nagyra értékelik azokban a folyamatokban, amelyek szilícium-karbid bevonatú szuszceptorokat igényelnek.grafit ostyahordozók, amelyek nagy termikus stabilitást, tisztaságot és kémiai erózióval szembeni ellenállást igényelnek.

Fejlett szilícium-karbid bevonási technikáinkkal a VET Energy továbbra is támogatja a grafit lapkahordozók piacát személyre szabott, nagy teljesítményű hordozók biztosításával.SiC bevonatú grafit szuszceptorokamelyek megválaszolják az iparág-specifikus kihívásokat, a MOCVD-folyamatoktól a nagy tisztaságú félvezető-ipari alkalmazásokig.