12 hüvelykes szilíciumlapka félvezetők gyártásához

Rövid leírás:

A VET Energy 12 hüvelykes szilícium lapkák a félvezetőgyártó ipar alapvető alapanyagai. A VET Energy fejlett CZ növekedési technológiát használ annak biztosítására, hogy az ostyák kiváló kristályminőséggel, alacsony hibasűrűséggel és nagy egyenletességgel rendelkezzenek, így szilárd és megbízható hordozót biztosítanak a félvezető eszközök számára.


Termék részletek

Termékcímkék

A VET Energy által kínált 12 hüvelykes szilíciumlapka félvezetőgyártáshoz úgy lett megtervezve, hogy megfeleljen a félvezetőiparban megkövetelt precíz szabványoknak. Termékpalettánk egyik vezető termékeként a VET Energy biztosítja, hogy ezeket az ostyákat igényes síksággal, tisztasággal és felületi minőséggel állítsák elő, így ideálisak a legmodernebb félvezető alkalmazásokhoz, beleértve a mikrochipeket, érzékelőket és fejlett elektronikus eszközöket.

Ez az ostya sokféle anyaggal kompatibilis, mint például a Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, SiN Substrate és Epi Wafer, kiváló sokoldalúságot biztosítva a különböző gyártási folyamatokhoz. Ezenkívül jól párosítható olyan fejlett technológiákkal, mint a Gallium Oxide Ga2O3 és az AlN Wafer, így biztosítva, hogy integrálható legyen a rendkívül speciális alkalmazásokba. A zökkenőmentes működés érdekében az ostyát az ipari szabványos kazettás rendszerekhez optimalizálták, így biztosítva a hatékony kezelést a félvezetőgyártásban.

A VET Energy termékcsaládja nem korlátozódik a szilícium lapkákra. Félvezető hordozóanyagok széles skáláját kínáljuk, beleértve a SiC szubsztrátumot, SOI Wafert, SiN szubsztrátot, Epi Wafert stb., valamint új, széles sávú félvezető anyagokat, mint például a Gallium Oxide Ga2O3 és az AlN Wafer. Ezek a termékek megfelelnek a különböző ügyfelek alkalmazási igényeinek teljesítményelektronika, rádiófrekvenciás, érzékelők és egyéb területeken.

Alkalmazási területek:
Logikai chipek:Nagy teljesítményű logikai chipek, például CPU és GPU gyártása.
Memória chipek:Memóriachipek, például DRAM és NAND Flash gyártása.
Analóg chipek:Analóg chipek, például ADC és DAC gyártása.
Érzékelők:MEMS érzékelők, képérzékelők stb.

A VET Energy személyre szabott ostyamegoldásokat kínál ügyfelei számára, és az ügyfelek egyedi igényei szerint testre szabhatja a különböző ellenállású, eltérő oxigéntartalmú, eltérő vastagságú és egyéb specifikációjú ostyákat. Emellett professzionális műszaki támogatást és értékesítés utáni szolgáltatást is nyújtunk, hogy segítsünk ügyfeleinknek optimalizálni a gyártási folyamatokat és javítani a termékhozamot.

第6页-36
第6页-35

WAVERING ELŐÍRÁSAI

*n-Pm=n-típusú Pm-minőség, n-Ps=n-típusú Ps-minőség, Sl=félszigetelő

Tétel

8 hüvelykes

6 hüvelykes

4 hüvelykes

nP

n-pm

n-Ps

SI

SI

TTV (GBIR)

≤6 um

≤6 um

Íj(GF3YFCD) – Abszolút érték

≤15 μm

≤15 μm

≤25 μm

≤15 μm

Warp (GF3YFER)

≤25 μm

≤25 μm

≤40 μm

≤25 μm

LTV (SBIR)-10mmx10mm

<2 μm

Wafer Edge

Ferde vágás

FELÜLETKEZELÉS

*n-Pm=n-típusú Pm-minőség, n-Ps=n-típusú Ps-minőség, Sl=félszigetelő

Tétel

8 hüvelykes

6 hüvelykes

4 hüvelykes

nP

n-pm

n-Ps

SI

SI

Felületi kidolgozás

Kétoldalas optikai polírozás, Si-Fece CMP

Felületi érdesség

(10um x 10um) Si-FaceRa≤0,2nm
C-Face Ra≤ 0,5 nm

(5umx5um) Si-Face Ra≤0,2nm
C-Face Ra≤0,5nm

Edge Chips

Egyik sem megengedett (hossz és szélesség ≥0,5 mm)

Behúzások

Egyik sem Engedélyezett

Karcolások (Si-Face)

Menny.≤5, kumulatív
Hossz ≤0,5× ostyaátmérő

Menny.≤5, kumulatív
Hossz ≤0,5× ostyaátmérő

Menny.≤5, kumulatív
Hossz ≤0,5× ostyaátmérő

Repedések

Egyik sem Engedélyezett

Élek kizárása

3 mm

tech_1_2_size
下载 (2)

  • Előző:
  • Következő:

  • WhatsApp online csevegés!