Esta oblea de SiC tipo N de 6 polgadas está deseñada para mellorar o rendemento en condicións extremas, polo que é unha opción ideal para aplicacións que requiren alta potencia e resistencia á temperatura. Os produtos clave asociados con esta oblea inclúen obleas de Si, o substrato de SiC, o de oblea SOI e o substrato de SiN. Estes materiais garanten un rendemento óptimo nunha variedade de procesos de fabricación de semicondutores, permitindo dispositivos que sexan eficientes enerxéticamente e duradeiros.
Para as empresas que traballan con Epi Wafer, Óxido de Galio Ga2O3, Cassette ou AlN Wafer, a oblea SiC tipo N de 6 polgadas de VET Energy proporciona a base necesaria para o desenvolvemento de produtos innovadores. Tanto se se trata de electrónica de alta potencia como da última tecnoloxía de RF, estas obleas garanten unha excelente condutividade e unha mínima resistencia térmica, superando os límites da eficiencia e do rendemento.
ESPECIFICACIÓNS DA OBLEA
*n-Pm=n-tipo Pm-Grado, n-Ps=n-tipo Ps-Grado, Sl=Semi-isolante
Elemento | 8 polgadas | 6 polgadas | 4 polgadas | ||
nP | n-p.m | n-Ps | SI | SI | |
TTV (GBIR) | ≤ 6um | ≤ 6um | |||
Bow (GF3YFCD) - Valor absoluto | ≤ 15 μm | ≤ 15 μm | ≤ 25 μm | ≤ 15 μm | |
Deformación (GF3YFER) | ≤ 25 μm | ≤ 25 μm | ≤ 40 μm | ≤ 25 μm | |
LTV (SBIR) - 10 mm x 10 mm | <2 μm | ||||
Borde de oblea | Biselado |
ACABADO SUPERFICIAL
*n-Pm=n-tipo Pm-Grado, n-Ps=n-tipo Ps-Grado, Sl=Semi-isolante
Elemento | 8 polgadas | 6 polgadas | 4 polgadas | ||
nP | n-p.m | n-Ps | SI | SI | |
Acabado superficial | Esmalte óptico de doble cara, Si-face CMP | ||||
Rugosidade superficial | (10um x 10um) Si-FaceRa ≤0,2 nm | (5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm | |||
Chips de borde | Ningún permitido (longo e ancho ≥0,5 mm) | ||||
sangrías | Ningún permitido | ||||
Arañazos (Si-face) | Cant.≤5,Acumulativo | Cant.≤5,Acumulativo | Cant.≤5,Acumulativo | ||
Gretas | Ningún permitido | ||||
Exclusión de borde | 3 mm |