O portador de revestimento de SiC para RTP/RTA é un compoñente clave utilizado nos procesos de fabricación de semicondutores chamado procesamento térmico e recocido rápido, utilizamos a nosa tecnoloxía patentada para facer o portador de carburo de silicio cunha pureza extremadamente alta, unha boa uniformidade de revestimento e unha vida útil excelente, xa que así como alta resistencia química e propiedades de estabilidade térmica.
Características dos nosos produtos:
1. Resistencia á oxidación a alta temperatura ata 1700 ℃.
2. Alta pureza e uniformidade térmica
3. Excelente resistencia á corrosión: ácido, álcali, sal e reactivos orgánicos.
4. Alta dureza, superficie compacta, partículas finas.
5. Maior vida útil e máis duradeiro
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Propiedades físicas básicas do CVD SiCrevestimento | |
| 性质 / Propiedade | 典型数值 / Valor típico |
| 晶体结构 / Estrutura cristalina | Fase β de FCC多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Densidade | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Dureza | 2500 维氏硬度（500g de carga） |
| 晶粒大小 / Tamaño do gran | 2 ~ 10 μm |
| 纯度 / Pureza química | 99,99995 % |
| 热容 / Capacidade calorífica | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Temperatura de sublimación | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Resistencia á flexión | 415 MPa RT de 4 puntos |
| 杨氏模量 / Módulo de Young | 430 Gpa curva de 4 puntos, 1300 ℃ |
| 导热系数 / ThermalCondutividade | 300 W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Expansión térmica (CTE) | 4,5 × 10-6K-1 |
VET Energy é o fabricante real de produtos personalizados de grafito e carburo de silicio con diferentes revestimentos como revestimento SiC, revestimento TaC, revestimento de carbono vítreo, revestimento de carbono pirolítico, etc., pode fornecer varias pezas personalizadas para a industria de semicondutores e fotovoltaica.
O noso equipo técnico provén das principais institucións de investigación nacionais, pode proporcionarlle solucións materiais máis profesionais.
Desenvolvemos continuamente procesos avanzados para proporcionar materiais máis avanzados e elaboramos unha tecnoloxía patentada exclusiva, que pode facer que a unión entre o revestimento e o substrato sexa máis estreita e menos propensa a desprenderse.
Benvido a visitar a nosa fábrica, imos ter máis discusións!
