As obleas de silicio de 8 polgadas de VET Energy úsanse amplamente en electrónica de potencia, sensores, circuítos integrados e outros campos. Como líder na industria de semicondutores, estamos comprometidos en ofrecer produtos Si Wafer de alta calidade para satisfacer as crecentes necesidades dos nosos clientes.
Ademais de Si Wafer, VET Energy tamén ofrece unha ampla gama de materiais de substrato de semicondutores, incluíndo substrato SiC, oblea SOI, substrato SiN, oblea Epi, etc. Wafer, que ofrece un forte apoio ao desenvolvemento de dispositivos electrónicos de potencia de próxima xeración.
VET Energy ten equipos de produción avanzados e un sistema completo de xestión da calidade para garantir que cada oblea cumpra os estritos estándares da industria. Os nosos produtos non só teñen excelentes propiedades eléctricas, senón que tamén teñen unha boa resistencia mecánica e estabilidade térmica.
VET Energy ofrece aos clientes solucións de obleas personalizadas, incluíndo obleas de diferentes tamaños, tipos e concentracións de dopaxe. Ademais, tamén ofrecemos soporte técnico profesional e servizo posvenda para axudar aos clientes a resolver varios problemas atopados durante o proceso de produción.
ESPECIFICACIÓNS DA OBLEA
*n-Pm=n-tipo Pm-Grado, n-Ps=n-tipo Ps-Grado, Sl=Semi-isolante
Elemento | 8 polgadas | 6 polgadas | 4 polgadas | ||
nP | n-p.m | n-Ps | SI | SI | |
TTV (GBIR) | ≤ 6um | ≤ 6um | |||
Bow (GF3YFCD) - Valor absoluto | ≤ 15 μm | ≤ 15 μm | ≤ 25 μm | ≤ 15 μm | |
Deformación (GF3YFER) | ≤ 25 μm | ≤ 25 μm | ≤ 40 μm | ≤ 25 μm | |
LTV (SBIR) - 10 mm x 10 mm | <2 μm | ||||
Borde de oblea | Biselado |
ACABADO SUPERFICIAL
*n-Pm=n-tipo Pm-Grado, n-Ps=n-tipo Ps-Grado, Sl=Semi-isolante
Elemento | 8 polgadas | 6 polgadas | 4 polgadas | ||
nP | n-p.m | n-Ps | SI | SI | |
Acabado superficial | Esmalte óptico de doble cara, Si-face CMP | ||||
Rugosidade superficial | (10um x 10um) Si-FaceRa ≤0,2 nm | (5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm | |||
Chips de borde | Ningún permitido (longo e ancho ≥0,5 mm) | ||||
sangrías | Ningún permitido | ||||
Arañazos (Si-face) | Cant.≤5,Acumulativo | Cant.≤5,Acumulativo | Cant.≤5,Acumulativo | ||
Gretas | Ningún permitido | ||||
Exclusión de borde | 3 mm |