Bateau/tour de plaquettes SiC

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Brève description :

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Détail du produit

Mots clés du produit

ProduitDdescription

Les bateaux à plaquettes en carbure de silicium sont largement utilisés comme support de plaquettes dans le processus de diffusion à haute température.

Avantages :

Résistance aux hautes températures :utilisation normale à 1800 ℃

Conductivité thermique élevée:équivalent au matériau graphite

Haute dureté:dureté juste derrière le diamant et le nitrure de bore

Résistance à la corrosion:les acides forts et les alcalis ne sont pas corrosifs, la résistance à la corrosion est meilleure que celle du carbure de tungstène et de l'alumine

Poids léger:faible densité, proche de l'aluminium

Aucune déformation: faible coefficient de dilatation thermique

Résistance aux chocs thermiques:il peut résister à des changements brusques de température, résister aux chocs thermiques et a des performances stables

Propriétés physiques du SiC

Propriété	Valeur	Méthode
Densité	3,21 g/cc	Évier-flotteur et dimension
Chaleur spécifique	0,66 J/g °K	Flash laser pulsé
Résistance à la flexion	450 MPa560 MPa	Coude 4 points, coude RT4 points, 1300°
Résistance à la rupture	2,94 MPa m1/2	Microindentation
Dureté	2800	Vicker's, charge de 500 g
Module élastiqueModule de Young	450 GPa430 GPa	Coude 4 points, coude RT4 points, 1 300 °C
Taille des grains	2 – 10 µm	MEB

Propriétés thermiques du SiC

Conductivité thermique	250 W/m°K	Méthode flash laser, RT
Expansion thermique (CTE)	4,5 x 10-6 °K	Température ambiante jusqu'à 950 °C, dilatomètre à silice