Suscepteur de baril recouvert de SiC

Brève description :

Le suscepteur de baril à revêtement SiC VET Energy est un produit haute performance conçu pour fournir des performances constantes et fiables sur une période prolongée. Il présente une très bonne résistance à la chaleur et une uniformité thermique, une grande pureté et une résistance à l'érosion, ce qui en fait la solution parfaite pour les applications de traitement de plaquettes.


  • Lieu d'origine :Chine
  • Structure cristalline :Phase FCCβ
  • Densité :3,21 g/cm ;
  • Dureté:2 500 Vickers ;
  • Taille des grains :2 ~ 10 μm ;
  • Pureté chimique :99,99995 % ;
  • Capacité thermique :640J·kg-1·K-1 ;
  • Température de sublimation :2700 ℃ ;
  • Force felexurale :415 MPa (RT 4 points) ;
  • Module de Young :430 Gpa (courbure 4 points, 1 300 ℃) ;
  • Dilatation Thermique (CTE) :4,5 10-6K-1 ;
  • Conductivité thermique :300(W/MK) ;
  • Détail du produit

    Mots clés du produit

    Suscepteur de baril is a clécomposant utilisé dans divers processus de fabrication de semi-conducteurs.Nous utilisons notre technologie brevetée pour fabriquer lesuscepteur de barilavecune pureté extrêmement élevée,bienrevêtementuniformitéet une excellente durée de vie, ainsi quepropriétés élevées de résistance chimique et de stabilité thermique.

    L'énergie de l'EFP est levéritable fabricant de produits personnalisés en graphite et en carbure de silicium avec revêtement CVD,peut fournirdiverspièces sur mesure pour l'industrie des semi-conducteurs et photovoltaïque. ONotre équipe technique provient des meilleures institutions de recherche nationales et peut fournir des solutions matérielles plus professionnelles.pour toi.

    Nous développons continuellement des processus avancés pour fournir des matériaux plus avancés,etont développé une technologie brevetée exclusive, qui peut rendre la liaison entre le revêtement et le substrat plus serrée et moins sujette au détachement.

    FCaractéristiques de nos produits :

    1. Résistance à l'oxydation à haute température jusqu'à 1700.
    2. Haute pureté etuniformité thermique
    3. Excellente résistance à la corrosion : acides, alcalis, sels et réactifs organiques.
    4. Haute dureté, surface compacte, particules fines.
    5. Durée de vie plus longue et plus durable

    MCV SiC薄膜基本物理性能

    Propriétés physiques de base du CVD SiCrevêtement

    性质 / Propriété

    典型数值 / Valeur typique

    晶体结构 / Structure Cristalline

    Phase β du FCC多晶,主要为(111)

    密度 / Densité

    3,21 g/cm³

    硬度 / Dureté

    2500 维氏硬度 (charge de 500 g)

    晶粒大小 / TAILLE DES GRAINS

    2~10μm

    纯度 / Pureté chimique

    99,99995%

    热容 / Capacité thermique

    640 J·kg-1·K-1

    升华温度 / Température de sublimation

    2700 ℃

    抗弯强度 / Résistance à la flexion

    415 MPa RT 4 points

    杨氏模量 / Module de Young

    Courbure 430 Gpa 4pt, 1300℃

    导热系数 / ThermesjeConductivité

    300W·m-1·K-1

    热膨胀系数 / Expansion thermique (CTE)

    4,5×10-6K-1

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