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ProduitDdescription
Les supports de plaquettes en carbure de silicium sont largement utilisés dans les procédés de diffusion à haute température.
Avantages :
Résistance aux hautes températures :utilisation normale à 1800 °C
conductivité thermique élevée:équivalent au matériau graphite
Dureté élevée:Nitrure de bore, dont la dureté n'est surpassée que par celle du diamant
résistance à la corrosion:Les acides et les bases forts ne le corrodent pas ; sa résistance à la corrosion est supérieure à celle du carbure de tungstène et de l'alumine.
léger:faible densité, proche de l'aluminium
Aucune déformation: faible coefficient de dilatation thermique
résistance aux chocs thermiques:Il peut supporter des variations de température importantes, résister aux chocs thermiques et présente des performances stables.
Propriétés physiques du SiC
| Propriété | Valeur | Méthode |
| Densité | 3,21 g/cm³ | Évier-flotteur et dimensions |
| Chaleur spécifique | 0,66 J/g °K | Flash laser pulsé |
| Résistance à la flexion | 450 MPa 560 MPa | Pliage en 4 points, pliage RT4 points, 1300° |
| ténacité à la rupture | 2,94 MPa m1/2 | Microindentation |
| Dureté | 2800 | Vickers, charge de 500 g |
| Module d'élasticité Module de Young | 450 GPa 430 GPa | 4 points de pliage, RT4 points de pliage, 1300 °C |
| Taille des grains | 2 – 10 µm | MEB |
Propriétés thermiques du SiC
| Conductivité thermique | 250 W/m °K | Méthode du flash laser, RT |
| Dilatation thermique (CTE) | 4,5 x 10⁻⁶ °K | Température ambiante à 950 °C, dilatomètre en silice |
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