Des bateaux professionnels chinois transportent des plaquettes de silicium dans le tube du four de revêtement par diffusion à haute température.

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ProduitDdescription

Les supports de plaquettes en carbure de silicium sont largement utilisés dans les procédés de diffusion à haute température.

Avantages :

Résistance aux hautes températures :utilisation normale à 1800 °C

conductivité thermique élevée:équivalent au matériau graphite

Dureté élevée:Nitrure de bore, dont la dureté n'est surpassée que par celle du diamant

résistance à la corrosion:Les acides et les bases forts ne le corrodent pas ; sa résistance à la corrosion est supérieure à celle du carbure de tungstène et de l'alumine.

léger:faible densité, proche de l'aluminium

Aucune déformation: faible coefficient de dilatation thermique

résistance aux chocs thermiques:Il peut supporter des variations de température importantes, résister aux chocs thermiques et présente des performances stables.

 

Propriétés physiques du SiC

Propriété Valeur Méthode
Densité 3,21 g/cm³ Évier-flotteur et dimensions
Chaleur spécifique 0,66 J/g °K Flash laser pulsé
Résistance à la flexion 450 MPa 560 MPa Pliage en 4 points, pliage RT4 points, 1300°
ténacité à la rupture 2,94 MPa m1/2 Microindentation
Dureté 2800 Vickers, charge de 500 g
Module d'élasticité Module de Young 450 GPa 430 GPa 4 points de pliage, RT4 points de pliage, 1300 °C
Taille des grains 2 – 10 µm MEB

 

Propriétés thermiques du SiC

Conductivité thermique 250 W/m °K Méthode du flash laser, RT
Dilatation thermique (CTE) 4,5 x 10⁻⁶ °K Température ambiante à 950 °C, dilatomètre en silice

 

 

bateau1   bateau2

bateau3   bateau4


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