Supports en graphite revêtus de SiC, revêtement sic, revêtement SiC recouvert d'un substrat en graphite pour semi-conducteurs

Revêtement en carbure de siliciumLe disque de graphite consiste à préparer une couche protectrice de carbure de silicium sur la surface du graphite par dépôt physique ou chimique en phase vapeur et pulvérisation. La couche protectrice de carbure de silicium préparée peut être fermement liée à la matrice de graphite, rendant la surface de la base de graphite dense et exempte de vides, conférant à la matrice de graphite des propriétés spéciales, notamment la résistance à l'oxydation, la résistance aux acides et aux alcalis, la résistance à l'érosion, la résistance à la corrosion, etc. À l'heure actuelle, le revêtement Gan est l'un des meilleurs composants de base pour la croissance épitaxiale du carbure de silicium.

351-21022GS439525

 

Le semi-conducteur en carbure de silicium est le matériau de base du semi-conducteur à large bande interdite nouvellement développé. Ses appareils présentent les caractéristiques de résistance à haute température, de résistance à haute tension, de haute fréquence, de puissance élevée et de résistance aux radiations. Il présente les avantages d’une vitesse de commutation rapide et d’un rendement élevé. Il peut réduire considérablement la consommation d'énergie du produit, améliorer l'efficacité de la conversion d'énergie et réduire le volume du produit. Il est principalement utilisé dans les communications 5G, la défense nationale et l'industrie militaire. Le domaine RF représenté par l'aérospatiale et le domaine de l'électronique de puissance représenté par les véhicules à énergie nouvelle et les « nouvelles infrastructures » ont des perspectives de marché claires et considérables dans les domaines civil et militaire.

9 3

Le substrat en carbure de silicium est le matériau de base du semi-conducteur à large bande interdite nouvellement développé. Le substrat en carbure de silicium est principalement utilisé dans l'électronique micro-ondes, l'électronique de puissance et d'autres domaines. Il se situe à l'extrémité avant de la chaîne industrielle des semi-conducteurs à large bande interdite et constitue le matériau clé de base et de pointe. Le substrat en carbure de silicium peut être divisé en deux types : semi-isolant et conducteur. Parmi eux, le substrat semi-isolant en carbure de silicium présente une résistivité élevée (résistivité ≥ 105 Ω · cm). Un substrat semi-isolant combiné à une feuille épitaxiale de nitrure de gallium hétérogène peut être utilisé comme matériau de dispositifs RF, qui est principalement utilisé dans la communication 5g, la défense nationale et l'industrie militaire dans les scènes ci-dessus ; L'autre est un substrat conducteur en carbure de silicium à faible résistivité (la plage de résistivité est de 15 ~ 30 m Ω · cm). L'épitaxie homogène d'un substrat conducteur en carbure de silicium et de carbure de silicium peut être utilisée comme matériaux pour des dispositifs électriques. Les principaux scénarios d'application sont les véhicules électriques, les systèmes électriques et d'autres domaines


Heure de publication : 21 février 2022
Chat en ligne WhatsApp !