Le dépôt de couches minces consiste à recouvrir une couche de film sur le matériau de substrat principal du semi-conducteur. Ce film peut être constitué de divers matériaux, tels que du dioxyde de silicium, un composé isolant, du polysilicium semi-conducteur, du cuivre métallique, etc. L'équipement utilisé pour le revêtement est appelé dépôt de couche mince...
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