Caractéristiques du produit
· Excellent haute température performance
Le revêtement PyC présente des caractéristiques de structure dense, d'excellente résistance à la chaleur, de bonne conductivité thermique et de résistance à l'usure. Comme les deux sont des éléments carbonés, ils ont une forte adhésion avec le graphite et peuvent sceller les substances volatiles résiduelles à l'intérieur du graphite pour empêcher la contamination par les particules de carbone.
· Contrôlable pureté
La pureté du revêtement PyC peut atteindre un niveau de 5 ppm, répondant aux exigences de pureté des spplications de haute pureté.
· Étendu service vie et amélioré produit qqualité
Le revêtement PyC peut prolonger efficacement la durée de vie des composants en graphite et améliorer la qualité du produit, réduisant ainsi efficacement les coûts de production des clients.
·Large gamme of candidatures
Le revêtement PyC est principalement utilisé dans les domaines à haute température tels que la croissance cristalline des semi-conducteurs Si/SiC, l'implantation ionique, la fusion de métaux pour les semi-conducteurs et l'analyse des instruments.
Produit Caractéristiques
Performance typique | Unité | Spécification |
Structure cristalline | Hexagonal | |
Alignement | Orienté ou non selon la direction 0001 | |
Densité apparente | g/cm³ | -2,24 |
Microstructure | Graphène polycristallin/multicouche | |
Dureté | GPa | 1.1 |
Module élastique | GPa | 10 |
Épaisseur typique | µm | 30-100 |
Rugosité de la surface | µm | 1,5 |
Pureté du produit | ppm | ≤5 ppm |