SiC-beschichteter Graphit-Suszeptor und -Träger für Wafer

Kurze Beschreibung:

Der SiC-beschichtete Graphitsuszeptor von VET Energy ist ein Hochleistungsprodukt, das für eine konstante und zuverlässige Leistung über einen langen Zeitraum entwickelt wurde. Er zeichnet sich durch hervorragende Hitzebeständigkeit und thermische Gleichmäßigkeit, hohe Reinheit und Erosionsbeständigkeit aus und ist damit die perfekte Lösung für die Waferverarbeitung.

Material:Hochreiner isostatischer Graphit

Reinigung: <5 ppm

Beschichtung:CVD-SiC, CVD-TaC, Pyro-Kohlenstoff

OEM-ODM:Verfügbar

Senden Sie uns eine E-Mail Download als PDF

Produktdetail

Produkt Tags

SiC-beschichteter Graphit-Susceptorist eine Schlüsselkomponente in verschiedenen Halbleiterherstellungsprozessen. Wir nutzen unsere patentierte Technologie, um SiC-beschichtete Suszeptoren mit extrem hoher Reinheit, guter Beschichtungsgleichmäßigkeit und ausgezeichneter Lebensdauer sowie hoher chemischer Beständigkeit und thermischer Stabilität herzustellen.

Eigenschaften unserer Produkte:

1. Hohe Temperaturoxidationsbeständigkeit bis zu 1700 °C.
2. Hohe Reinheit und thermische Gleichmäßigkeit
3. Hervorragende Korrosionsbeständigkeit: Säure, Lauge, Salz und organische Reagenzien.
4. Hohe Härte, kompakte Oberfläche, feine Partikel.
5. Längere Lebensdauer und langlebiger

Herz-Kreislauf-Erkrankungen SiC薄膜基本物理性能 Grundlegende physikalische Eigenschaften von CVD-SiCBeschichtung
性质 / Eigentum	典型数值 / Typischer Wert
晶体结构 / Kristallstruktur	FCC-β-Phase多晶, 主要为（111）取向
密度 / Dichte	3,21 g/cm³
硬度 / Härte	2500 U/min (500 g Ladung)
晶粒大小 / Korngröße	2 bis 10 μm
纯度 / Chemische Reinheit	99,99995 %
热容 / Wärmekapazität	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimationstemperatur	2700℃
抗弯强度 / Biegefestigkeit	415 MPa RT 4-Punkt
杨氏模量 / Elastizitätsmodul	430 Gpa 4pt Biegung, 1300℃
导热系数 / ThermalLeitfähigkeit	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Wärmeausdehnung (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1

VET Energy ist ein professioneller Hersteller, der sich auf die Forschung und Entwicklung sowie die Produktion hochwertiger, fortschrittlicher Materialien wie Graphit, Siliziumkarbid und Quarz sowie auf die Materialbehandlung wie SiC-Beschichtung, TaC-Beschichtung, Glaskohlenstoffbeschichtung, pyrolytische Kohlenstoffbeschichtung usw. konzentriert. Die Produkte finden breite Anwendung in der Photovoltaik, Halbleiterindustrie, neuen Energien, Metallurgie usw.

Unser technisches Team kommt aus führenden inländischen Forschungseinrichtungen und kann Ihnen professionellere Materiallösungen bieten.

Zu den Vorteilen von VET Energy gehören:
• Eigene Fabrik und professionelles Labor;
• Branchenführende Reinheitsgrade und Qualität;
• Konkurrenzfähiger Preis und schnelle Lieferzeit;
• Zahlreiche Branchenpartnerschaften weltweit;

Wir heißen Sie jederzeit herzlich willkommen, unsere Fabrik und unser Labor zu besuchen!