SiC-beschichteter Graphitsuszeptor und -träger für Wafer

Kurzbeschreibung:

Der SiC-beschichtete Graphitsuszeptor von VET Energy ist ein Hochleistungsprodukt, das für eine gleichbleibende und zuverlässige Leistung über einen langen Zeitraum entwickelt wurde. Er zeichnet sich durch hervorragende Hitzebeständigkeit und thermische Homogenität, hohe Reinheit und Erosionsbeständigkeit aus und ist somit die ideale Lösung für die Waferbearbeitung.

Material:Hochreiner isostatischer Graphit

Reinigung: <5 ppm

Beschichtung:CVD-SiC, CVD-TaC, Pyrokohlenstoff

OEM ODM:Verfügbar

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Produktdetails

Produkt-Tags

SiC-beschichteter GraphitsuspensionSiC ist eine Schlüsselkomponente in verschiedenen Halbleiterfertigungsprozessen. Mithilfe unserer patentierten Technologie stellen wir SiC-beschichtete Suscetporen mit extrem hoher Reinheit, guter Beschichtungsgleichmäßigkeit und ausgezeichneter Lebensdauer sowie hoher chemischer Beständigkeit und thermischer Stabilität her.

Merkmale unserer Produkte:

1. Hohe Oxidationsbeständigkeit bis zu 1700℃.
2. Hohe Reinheit und thermische Gleichmäßigkeit
3. Ausgezeichnete Korrosionsbeständigkeit: gegenüber Säuren, Laugen, Salzen und organischen Reagenzien.
4. Hohe Härte, kompakte Oberfläche, feine Partikel.
5. Längere Lebensdauer und höhere Widerstandsfähigkeit

CVD SiC薄膜基本物理性能 Grundlegende physikalische Eigenschaften von CVD-SiCBeschichtung
性质 / Eigentum	典型数值 / Typischer Wert
晶体结构 / Kristallstruktur	FCC β-Phase多晶, 主要为（111）取向
密度 / Dichte	3,21 g/cm³
硬度 / Härte	2500 U/min (500 g Ladung)
晶粒大小 / Korngröße	2–10 μm
纯度 Chemische Reinheit	99,99995 %
热容 / Wärmekapazität	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimationstemperatur	2700℃
抗弯强度 / Biegefestigkeit	415 MPa RT 4-Punkt
杨氏模量 / Elastizitätsmodul	430 GPA 4pt Biegung, 1300℃
导热系数 / ThermelLeitfähigkeit	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Wärmeausdehnung (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy ist ein professioneller Hersteller, der sich auf die Forschung und Entwicklung sowie die Produktion von hochwertigen, fortschrittlichen Materialien wie Graphit, Siliciumcarbid und Quarz sowie auf Materialbehandlungen wie SiC-Beschichtung, TaC-Beschichtung, Glaskohlenstoffbeschichtung, pyrolytische Kohlenstoffbeschichtung usw. spezialisiert hat. Die Produkte finden breite Anwendung in der Photovoltaik, der Halbleiterindustrie, der neuen Energiewirtschaft, der Metallurgie usw.

Unser technisches Team stammt von führenden inländischen Forschungseinrichtungen und kann Ihnen daher professionellere Materiallösungen anbieten.

Zu den Vorteilen von VET Energy gehören:
• Eigene Fabrik und professionelles Labor;
• Branchenführende Reinheit und Qualität;
• Wettbewerbsfähiger Preis & Schnelle Lieferzeit;
• Zahlreiche Branchenpartnerschaften weltweit;

Wir freuen uns, Sie jederzeit in unserer Fabrik und unserem Labor begrüßen zu dürfen!