Wie in Abb. 3 dargestellt, gibt es drei vorherrschende Techniken, die darauf abzielen, SiC-Einkristalle mit hoher Qualität und Effizienz bereitzustellen: Flüssigphasenepitaxie (LPE), physikalischer Dampftransport (PVT) und chemische Hochtemperatur-Gasphasenabscheidung (HTCVD). PVT ist ein etabliertes Verfahren zur Herstellung von SiC-Sin...
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