PECVD-Boot aus hochreinem Graphit für Solarmodule
Beschreibung
1). Einführung, um die „Farblinsen“-Technologie zu eliminieren und sicherzustellen, dass während des Langzeitprozesses keine „Farblinsen“ vorhanden sind.
2). Hergestellt aus von SGL importiertem Graphitmaterial mit hoher Reinheit, geringem Verunreinigungsgehalt und hoher Festigkeit.
3). Verwendung von 99,9 % Keramik für die Keramikbaugruppe mit starker Korrosionsbeständigkeit und Brandschutz.
4). Verwendung der Präzisionsverarbeitungsausrüstung, um die Genauigkeit jedes Teils sicherzustellen.
Spezifikation
Artikel | Typ | Nummernwaferträger |
PECVD-Graphitschiffchen – Die 156er-Serie | 156-13 Graphitboot | 144 |
156-19 Graphitboot | 216 | |
156-21 Graphitboot | 240 | |
156-23 Graphitboot | 308 | |
PECVD-Graphitschiffchen – Die 125er-Serie | 125-15 Graphitboot | 196 |
125-19 Graphitboot | 252 | |
125-21 Graphitboot | 280 |
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