Hochreiner Graphit-PECVD-Schiff für Solarpanel
Beschreibung
1) Eingeführt, um die „Farblinsen“-Technologie zu eliminieren und sicherzustellen, dass während des Langzeitprozesses keine „Farblinsen“ vorhanden sind.
2) Hergestellt aus importiertem SGL-Graphitmaterial mit hoher Reinheit, niedrigem Verunreinigungsgehalt und hoher Festigkeit.
3) Verwendung von 99,9% Keramik für die Keramikbaugruppe mit starker Korrosionsbeständigkeit und Bruchsicherheit.
4) Die Verwendung von Präzisionsbearbeitungsmaschinen zur Sicherstellung der Genauigkeit jedes einzelnen Teils.
Spezifikation
| Artikel | Typ | Nummer Waferträger |
| PECVD-Graphitboot — Die 156er-Serie | 156-13 Graphitboot | 144 |
| 156-19 Graphitboot | 216 | |
| 156-21 Graphitboot | 240 | |
| 156-23 Graphitboot | 308 | |
| PECVD-Graphitboot — Die 125er-Serie | 125-15 Graphitboot | 196 |
| 125-19 Graphitboot | 252 | |
| 125-21 Graphitboot | 280 |




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