Hochreines Graphit-PECVD-Boot für Solarmodule
Beschreibung
1). Die Technologie zur Eliminierung der „Farblinsen“ wurde übernommen, um sicherzustellen, dass während des Langzeitprozesses keine „Farblinsen“ entstehen.
2). Hergestellt aus importiertem SGL-Graphitmaterial mit hoher Reinheit, geringem Verunreinigungsgehalt und hoher Festigkeit.
3). Verwendung von 99,9 % Keramik für die Keramikbaugruppe mit starker Korrosionsbeständigkeit und Bruchsicherheit.
4). Verwendung von Präzisionsverarbeitungsgeräten, um die Genauigkeit jedes Teils sicherzustellen.
Spezifikation
| Artikel | Typ | Nummer Waferträger |
| PECVD-Graphitboot — Die Serie 156 | 156-13 Graphitboot | 144 |
| 156-19 Graphitboot | 216 | |
| 156-21 Graphitboot | 240 | |
| 156-23 Graphitboot | 308 | |
| PECVD-Graphitboot — Die 125er-Serie | 125-15 Graphitboot | 196 |
| 125-19 Graphitboot | 252 | |
| 125-21 Graphitboot | 280 |




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