Galliumarsenid-Phosphid-Epitaxie

Kurzbeschreibung:

Galliumarsenid-Phosphid-Epitaxiestrukturen, ähnlich den hergestellten Strukturen des Substrat-ASP-Typs (ET0.032.512TU), für die. Herstellung planarer roter LED-Kristalle.


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Galliumarsenid-Phosphid-Epitaxiestrukturen, ähnlich den hergestellten Strukturen des Substrat-ASP-Typs (ET0.032.512TU), für die. Herstellung planarer roter LED-Kristalle.

Grundlegender technischer Parameter
zu Galliumarsenid-Phosphid-Strukturen

1,SubstratGaAs  
A. Leitfähigkeitstyp elektronisch
B. Spezifischer Widerstand, Ohm-cm 0,008
C. Kristallgitterorientierung (100)
D. Fehlausrichtung der Oberfläche (1−3)°

7

2. Epitaxieschicht GaAs1-х Pх  
A. Leitfähigkeitstyp
elektronisch
B. Phosphorgehalt in der Übergangsschicht
von х = 0 bis х ≈ 0,4
C. Phosphorgehalt in einer Schicht konstanter Zusammensetzung
х ≈ 0,4
D. Trägerkonzentration, сm3
(0,2−3,0)·1017
e. Wellenlänge im Maximum des Photolumineszenzspektrums, nm 645–673 nm
F. Wellenlänge im Maximum des Elektrolumineszenzspektrums
650–675 nm
G. Konstante Schichtdicke, Mikrometer
Mindestens 8 sm
H. Schichtdicke (gesamt), Mikron
Mindestens 30 nm
3 Platte mit Epitaxieschicht  
A. Durchbiegung, Mikron Höchstens 100 um
B. Dicke, Mikrometer 360–600 um
C. Quadratzentimeter
Mindestens 6 cm2
D. Spezifische Lichtstärke (nach DiffusionZn), cd/amp
Mindestens 0,05 cd/Ampere

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