EUD EnergiSiliciumcarbidbelægning grafitbakke, Plate og Cover er konstrueret til at levere top-tier ydeevne, hvilket giver pålidelig og ensartet drift over længere tids brug, hvilket gør det til et væsentligt valg til waferbehandlingsapplikationer i halvlederindustrien. Denne højtydendeSiliciumcarbid belægning grafitpladekan prale af enestående varmebestandighed, overlegen termisk ensartethed og enestående kemisk stabilitet, især under høje temperaturer. Dens højrente konstruktion, kombineret med avanceret erosionsbestandighed, gør den uundværlig til krævende miljøer som f.eks.MOCVD-susceptorer.
Nøglefunktioner af siliciumcarbidbelægning grafitbakke, plade og låg
1. Højtemperaturoxidationsmodstand:Tåler temperaturer op til 1700 ℃, hvilket gør den i stand til at fungere pålideligt under ekstreme forhold.
2. Høj renhed og termisk ensartethed:Konsekvent høj renhed og jævn varmefordeling er afgørende for MOCVD-applikationer.
3. Enestående korrosionsbestandighed:Modstandsdygtig over for syrer, alkalier, salte og forskellige organiske reagenser, hvilket sikrer langtidsstabilitet i forskellige miljøer.
4. Høj hårdhed og kompakt overflade:Har en tæt overflade med fine partikler, der forbedrer den generelle holdbarhed og modstandsdygtighed over for slid.
5. Forlænget levetid:Konstrueret til lang levetid, bedre end konventionelsiliciumcarbidbelagte grafitsusceptoreri barske halvlederbehandlingsmiljøer.
CVD SiC薄膜基本物理性能 Grundlæggende fysiske egenskaber ved CVD SiCbelægning | |
性质 / Ejendom | 典型数值 / Typisk Værdi |
晶体结构 / Krystalstruktur | FCC β-fase多晶,主要为(111)取向 |
密度 / Tæthed | 3,21 g/cm³ |
硬度 / Hårdhed | 2500 维氏硬度(500g belastning) |
晶粒大小 / Kornstørrelse | 2~10μm |
纯度 / Kemisk renhed | 99,99995 % |
热容 / Varmekapacitet | 640 J·kg-1·K-1 |
升华温度 / Sublimationstemperatur | 2700 ℃ |
抗弯强度 / Bøjestyrke | 415 MPa RT 4-punkt |
杨氏模量 / Young's Modulus | 430 Gpa 4pt bøjning, 1300℃ |
导热系数 / ThermalLedningsevne | 300W·m-1·K-1 |
热膨胀系数 / Termisk udvidelse (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VET Energy's ekspertise i skræddersyede grafit- og siliciumcarbidløsninger
Som en betroet producent er VET Energy specialiseret i specialdesignede grafitsusceptorer og siliciumcarbidbelægningsløsninger. Vi tilbyder en række produkter skræddersyet til halvleder- og solcelleindustrien, herunderSiC-belagte grafitkomponentersom bakker, tallerkener og låg. Vores produktsortiment omfatter også forskellige belægningsmuligheder, som f.eksSiC belægning til MOCVD, TaC belægning, glasagtig kulstofbelægning, og pyrolytisk kulstofbelægning, der sikrer, at vi opfylder de forskellige krav fra højteknologiske industrier.
Vores erfarne tekniske team, bestående af eksperter fra førende indenlandske forskningsinstitutioner, leverer omfattende materialeløsninger til kunder. Vi forfiner løbende vores avancerede processer, herunder en eksklusiv patenteret teknologi, der forbedrer bindingen mellem siliciumcarbidbelægningen og grafitsubstratet, hvilket reducerer risikoen for løsrivelse og forlænger produktets levetid yderligere.
Anvendelser og fordele i halvlederfremstilling
DeSiliciumcarbidbelægning til MOCVDgør disse grafitsusceptorer yderst effektive i korrosive miljøer med høje temperaturer. Uanset om de bruges som grafitwaferbærere eller andre MOCVD-komponenter, viser disse siliciumcarbidbelagte susceptorer overlegen holdbarhed og ydeevne. For dem, der søger pålidelige løsninger iSiC-belagt grafitsusceptormarkedet, tilbyder VET Energy's siliciumcarbid-belagte grafitbakke, -plade og -dæksel en robust og alsidig mulighed, der opfylder de strenge krav fra halvlederindustrien.
Ved at fokusere på avanceret materialevidenskab er VET Energy forpligtet til at levere højtydende SiC-belagt grafitløsninger, der driver innovation inden for halvlederbehandling og sikrer pålidelig ydeevne i alle MOCVD-relaterede applikationer.
VET Energy er den rigtige producent af skræddersyede grafit- og siliciumcarbidprodukter med forskellige belægninger som SiC-belægning, TaC-belægning, glasagtig carbon-belægning, pyrolytisk carbon-belægning osv., kan levere forskellige tilpassede dele til halvleder- og fotovoltaisk industri.
Vores tekniske team kommer fra top indenlandske forskningsinstitutioner, kan levere mere professionelle materialeløsninger til dig.
Vi udvikler løbende avancerede processer for at levere mere avancerede materialer og har udarbejdet en eksklusiv patenteret teknologi, som kan gøre bindingen mellem belægningen og underlaget tættere og mindre tilbøjelig til at løsne sig.
Hjerteligt velkommen til at besøge vores fabrik, lad os have yderligere diskussion!