Grafitsubstrater/bærere med siliciumcarbidbelægning til halvleder

Kort beskrivelse:

VET Energy SiC Coated Graphite Susceptor er et højtydende produkt designet til at give ensartet og pålidelig ydeevne over en længere periode. Den har super god varmebestandighed og termisk ensartethed, høj renhed, erosionsbestandighed, hvilket gør den til den perfekte løsning til waferbehandlingsapplikationer.


  • Oprindelsessted:Zhejiang, Kina (fastlandet)
  • Modelnummer:Båd 3004
  • Kemisk sammensætning:SiC-belagt grafit
  • Bøjestyrke:470 MPa
  • Termisk ledningsevne:300 W/mK
  • Kvalitet:Perfektionere
  • Fungere:CVD-SiC
  • Anvendelse:Halvleder / fotovoltaisk
  • Tæthed:3,21 g/cc
  • Termisk ekspansion:4 10-6/K
  • Aske: <5 ppm
  • Prøve:Tilgængelig
  • HS kode:6903100000
  • Produktdetaljer

    Produkt Tags

    SiC-belagt grafitsusceptor er en nøglekomponent, der bruges i forskellige halvlederfremstillingsprocesser. vi bruger vores patenterede teknologi til at fremstille susceptoren med ekstrem høj renhed, god belægningsensartethed og en fremragende levetid, samt høj kemisk resistens og termisk stabilitetsegenskaber.

    6

    Funktioner af vores produkter:

    1. Høj temperatur oxidationsmodstand op til 1700 ℃.
    2. Høj renhed og termisk ensartethed
    3. Fremragende korrosionsbestandighed: syre, alkali, salt og organiske reagenser.

    4. Høj hårdhed, kompakt overflade, fine partikler.
    5. Længere levetid og mere holdbar

    CVD SiC薄膜基本物理性能

    Grundlæggende fysiske egenskaber ved CVD SiCbelægning

    性质 / Ejendom

    典型数值 / Typisk Værdi

    晶体结构 / Krystalstruktur

    FCC β-fase多晶,主要为(111)取向

    密度 / Tæthed

    3,21 g/cm³

    硬度 / Hårdhed

    2500 维氏硬度(500g belastning)

    晶粒大小 / Kornstørrelse

    2~10μm

    纯度 / Kemisk renhed

    99,99995 %

    热容 / Varmekapacitet

    640 J·kg-1·K-1

    升华温度 / Sublimationstemperatur

    2700 ℃

    抗弯强度 / Bøjestyrke

    415 MPa RT 4-punkt

    杨氏模量 / Young's Modulus

    430 Gpa 4pt bøjning, 1300℃

    导热系数 / ThermalLedningsevne

    300W·m-1·K-1

    热膨胀系数 / Termisk udvidelse (CTE)

    4,5×10-6K-1

    1

    2

    VET Energy er den rigtige producent af skræddersyede grafit- og siliciumcarbidprodukter med forskellige belægninger som SiC-belægning, TaC-belægning, glasagtig carbon-belægning, pyrolytisk carbon-belægning osv., kan levere forskellige tilpassede dele til halvleder- og fotovoltaisk industri.

    Vores tekniske team kommer fra top indenlandske forskningsinstitutioner, kan levere mere professionelle materialeløsninger til dig.

    Vi udvikler løbende avancerede processer for at levere mere avancerede materialer og har udarbejdet en eksklusiv patenteret teknologi, som kan gøre bindingen mellem belægningen og underlaget tættere og mindre tilbøjelig til at løsne sig.

    Hjerteligt velkommen til at besøge vores fabrik, lad os have yderligere diskussion!

    研发团队

     

    生产设备

     

    公司客户

     


  • Tidligere:
  • Næste:

  • WhatsApp online chat!